上海奇穆實業(yè)有限公司總代理中國臺灣DINO純水藥液PFA氣動閥
PFA閥門是一種用于半導體制造等高純度流體工業(yè)的特殊閥門,主要由PFA材料制成,具有的耐化學腐蝕性和優(yōu)異的密封性能。在PFA閥門中,氣動隔膜閥作為其中一個重要的類型,在流體控制領域中被廣泛應用。
PFA氣動隔膜閥在高需求的半導體制造和其他高純度液體處理過程中具有越來越重要的地位。它采用層壓聚合物、四氟等材料制成的隔膜實現操作。氣動隔膜閥可以快速開啟和關閉,而且可以用于非常高的壓力范圍和流量控制。當氣源送入氣動閥充氣腔時,隔膜將被推動,從而打開或關閉閥門,實現對流體的控制。
PFA氣動隔膜閥相對于傳統的金屬閥門的優(yōu)點在于:首先,PFA材料本身就是一種化學穩(wěn)定性強的聚合物材料,對多數酸、堿及有機溶劑(如氯仿、硝酸等)的化學腐蝕極小;其次,PFA隔膜保證了閥門具有良好的密封性能,可以避免介質與閥門內壁接觸而產生二次污染。
在半導體行業(yè)中,PFA閥門廣泛應用于高純度各種介質和腐蝕性介質的控制,例如制造中使用的超純水、酸堿液體等。同時,在半導體工藝流程中,對清洗過程的要求非常高。半導體清洗閥門通常是采用無腐蝕、高溫 PFA 材料制成。這種材料經受住強酸、強堿甚至是高溫條件的考驗,并且不會影響到系統中的微量器件。在清洗閥門中,特殊設計的密封系統可確保不會出現泄漏或二次污染,并且保持較長時間的使用壽命。除此之外,氣動隔膜閥門在清洗過程中起到了關鍵的作用。