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Tergeo-Pro等離子清洗機(jī)

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更新時(shí)間：2024-05-28 17:48:51瀏覽次數(shù)：208次

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武漢月憶神湖科技有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

【Tergeo-Pro等離子清洗機(jī)】處理腔體足夠大，可以容納 8 英寸晶圓。也可容納一兩個(gè) 25/50 槽 6“ 或 4“ 石英晶舟。Tergeo-Pro 等離子系統(tǒng)可以具有 150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射頻功率。射頻功率可以以 1 瓦的間隔進(jìn)行調(diào)整。

詳細(xì)介紹

Tergeo-Pro等離子清洗機(jī)-產(chǎn)品特征：

【1】大樣品室（內(nèi)徑：9″/ 230mm，深度：13.4″/ 340mm）。足夠容納一個(gè)8英寸晶圓片。

【2】等離子體放電方法：電容耦合等離子體放電，外部有彎曲的放電電極。

【3】連續(xù)和脈沖等離子體：脈沖比率可以從99%（連續(xù)）改變到小于1%。Tergeo等離子體系統(tǒng)不僅可以按1瓦的間隔調(diào)整射頻功率瓦數(shù)，還可以創(chuàng)造連續(xù)和脈沖等離子體。改變等離子體強(qiáng)度的幅度超過(guò)幾個(gè)數(shù)量級(jí)。

【4】操作方法：自動(dòng)配方執(zhí)行；自動(dòng)工作序列執(zhí)行；手動(dòng)操作。

【5】等離子體傳感器：等離子體強(qiáng)度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子體狀態(tài)，向用戶提供不同配方條件下等離子體強(qiáng)度的定量反饋。等離子體傳感器還可以監(jiān)測(cè)等離子體灰化過(guò)程的進(jìn)展，并作為一個(gè)終點(diǎn)指示器。等離子體強(qiáng)度會(huì)實(shí)時(shí)顯示在LCD觸摸屏上。

【6】過(guò)程控制能力：壓力傳感器、溫度傳感器、MFC中的氣體流速計(jì)、等離子體強(qiáng)度傳感器、自動(dòng)阻抗匹配。

【7】腔體設(shè)計(jì)：鋁制法蘭和厚壁高純度石英管提供了更強(qiáng)的耐化學(xué)性，減少了Pyrex玻璃中的堿性雜質(zhì)（Ca, K, Na）。

【8】樣品架：4mm厚的高純度石英板，尺寸：220mmX280mm。

【9】射頻電極：外部電容耦合的射頻電極包裹著石英管。外部射頻電極的設(shè)計(jì)使等離子體體積更大、更均勻，也消除了內(nèi)部金屬射頻電極設(shè)計(jì)帶來(lái)的離子濺射和加熱問(wèn)題。

【10】射頻電源：13.56MHz的高頻射頻電源，具有自動(dòng)阻抗匹配功能。射頻功率有三種選擇。150瓦、300瓦和500瓦，頻率為13.56MHz。射頻功率可以以1瓦的間隔調(diào)整。與低效低成本的KHz電源相比，13.56MHz射頻電源產(chǎn)生的等離子體密度要高得多。

【11】氣體輸入：多達(dá)三路MFC控制的氣體輸入（0~100sccm）。一個(gè)額外的端口用于通風(fēng)和吹掃。¼英寸世偉洛克壓縮接頭連接器。

【12】用戶界面：7英寸電阻式觸摸屏，用手指觸摸，不需要手寫(xiě)筆。

【13】程序配方和工作支持：總共有20個(gè)可定制的配方。工作順序中最多有三個(gè)清洗步驟。

Tergeo-Pro等離子清洗機(jī)-典型應(yīng)用：

【1】光刻膠灰化、除膠、硅片清洗；

【2】焊線前的芯片清洗，倒裝芯片底層填充，PCB去污；

【3】生物醫(yī)學(xué)涂層前的表面處理，提高醫(yī)療植入物的親水性；