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等離子清洗機(jī)

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聯(lián)系人：曾獻(xiàn)金

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

等離子清洗機(jī)原理利用等離子清洗機(jī)中的等離子體進(jìn)行等離子清洗，所產(chǎn)生的等離子體的裝置是在密封的容器里面設(shè)置多個(gè)電極形成的電場(chǎng)，利用真空泵達(dá)到一定的真空值，由于電場(chǎng)的作用，他們?cè)诎l(fā)生碰撞的時(shí)候形成了等離子體，由此產(chǎn)生的等離子體可以達(dá)到表面清洗處理的效果

詳細(xì)介紹

等離子清洗機(jī)原理 
利用等離子清洗機(jī)中的等離子體進(jìn)行
等離子清洗，所產(chǎn)生的等離子體的裝
置是在密封的容器里面設(shè)置多個(gè)電極
形成的電場(chǎng)，利用真空泵達(dá)到一定的
真空值，由于電場(chǎng)的作用，他們?cè)诎l(fā)
生碰撞的時(shí)候形成了等離子體，由此
產(chǎn)生的等離子體可以達(dá)到表面清洗處
理的效果。 
特點(diǎn)
·等離子清洗機(jī)清洗效果好，效率高，應(yīng)用范圍廣。 
·對(duì)清洗樣品，沒(méi)有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求 
·等離子清洗過(guò)程中，溫升很小，基本可達(dá)到常溫處理。 
·射頻功率無(wú)極連續(xù)可調(diào)。 
·高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。 
·特制電極和托盤(pán)結(jié)構(gòu)，可充分利用真空艙體內(nèi)部空間，使處理大化，同時(shí)也可保證樣品可得到全面有效的清洗。 
·的過(guò)載、短路和過(guò)熱保護(hù)電路，可保證射頻電源的穩(wěn)定和安全。 
應(yīng)用范圍
 恒超源洗凈科技（深圳）有限公司專(zhuān)業(yè)研發(fā)生產(chǎn)銷(xiāo)售等離子清洗設(shè)備，是微波等離子工藝用于芯片制造、MEMS器件、LED、光伏電池、連接器、平板顯示器和探測(cè)器等領(lǐng)域的市場(chǎng)。在光刻膠灰化、活化、表面浸潤(rùn)、晶圓減薄和應(yīng)力去除、打線(xiàn)前的bond pad清潔、封膠前的活化等應(yīng)用中用安全的微波等離子對(duì)硅、三五族化合物、鈮酸鋰等半導(dǎo)體材料進(jìn)行處理。微波等離子體特別適合于處理對(duì)靜電敏感的器件。




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