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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市慧爍機(jī)電有限公司


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臺式等離子清洗機(jī)

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號PE-100

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間:2024-01-15 07:53:39瀏覽次數(shù):201次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:3條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

PE-100是一款完整的等離子清洗系統(tǒng)或是反應(yīng)離子蝕刻系統(tǒng),帶真空泵.設(shè)計牢固和性能穩(wěn)定,高性價比,讓那些初創(chuàng)工廠,醫(yī)療實驗室,研發(fā)機(jī)構(gòu),能夠使用PLASMAETCH的產(chǎn)品和技術(shù)PE-100提供三種功能配置:1.常規(guī)的等離子清洗和等離子蝕刻2.反應(yīng)離子蝕刻(RIE)3.PE-100可轉(zhuǎn)換配置,一個系統(tǒng)包含各向異性和各向同性等離子體處理,可移除托盤配置

詳細(xì)介紹


PE-100是一款完整的等離子清洗系統(tǒng)或是反應(yīng)離子蝕刻系統(tǒng), 帶真空泵. 設(shè)計牢固和性能穩(wěn)定, 高性價比,讓那些初創(chuàng)工廠,醫(yī)療實驗室,研發(fā)機(jī)構(gòu),能夠使用PLASMA ETCH的產(chǎn)品和技術(shù)
PE-100提供三種功能配置:
1. 常規(guī)的等離子清洗和等離子蝕刻
2. 反應(yīng)離子蝕刻(RIE)
3. PE-100可轉(zhuǎn)換配置,一個系統(tǒng)包含各向異性和各向同性等離子體處理, 可移除托盤配置。

簡介

PE-100焊接鋁真空反應(yīng)腔包含一個寬松的240平方英寸的有效等離子處理面積, 標(biāo)準(zhǔn)配置三層電極。采用工業(yè)粉末固化工藝,PE-100本體潔凈的設(shè)計,能在運(yùn)行過程中減少污染物產(chǎn)生。

當(dāng)使用PE-100作為反應(yīng)離子蝕刻應(yīng)用,電極會特別設(shè)計為直驅(qū)型等離子,意味著等離子接觸處理物表面,產(chǎn)生的等離子體向下流動或是鉆進(jìn)的效果。這個過程主要用在那些微孔或是清洗非常小的空間,這些工件通常不能夠通過化學(xué)清洗方法,因為液體流動會在小空間里面受到限制,比如過孔。

典型的客戶包括:生產(chǎn)制造工程,研究和開發(fā)實驗室,測試工廠以及大學(xué)。工業(yè)客戶包括生物醫(yī)藥,牙科,電子,光電子,科研,塑料,光學(xué),太陽能電池電池板等。.

使用我們的等離子清洗機(jī)刻蝕,比較化學(xué)浸泡方法,可以避免昂貴的有害化學(xué)廢水處理。等離子處理非常容易使用,通過導(dǎo)引型觸摸屏操作控制等離子過程的各個參數(shù),來確保高重復(fù)性。

我們可以客戶化配置反應(yīng)腔和電極,來滿足您的產(chǎn)品或是過程需要,包括客戶化尺寸水平電極,RIE(反應(yīng)離子蝕刻) 和半導(dǎo)體引線邊框的布局。

標(biāo)準(zhǔn)特性

焊接鋁真空反應(yīng)腔
3層水平處理電極 9" 寬 x 13" 深 3" 間隔距離

300 瓦射頻發(fā)生器 @ 100KHZ

一個0-50sccm質(zhì)量流量控制器

皮拉尼真空計0-1托

微處理器控制系統(tǒng),帶觸摸屏界面, 存儲一組過程參數(shù)

8CFM帶氧氣供應(yīng)真空泵

真空泵油水分離器

可選項目特性
300 W射頻發(fā)生器 @ 13.56 MHZ

靜電防護(hù)

過程溫度控制

氮?dú)廨斎胂到y(tǒng),用于延長真空泵壽命

RIE(反應(yīng)離子蝕刻)配置

客戶化電極尺寸和配置

電氣和尺寸:

系統(tǒng)重量:等離子反應(yīng)器 160lbs,真空泵68lbs

系統(tǒng)尺寸:等離子反應(yīng)器 17“ X 28" X 30", 真空泵6 “ X 18" X 9"

廠務(wù)條件:

電壓:220伏交流, 50HZ, 13A, 單相

壓縮氣體供應(yīng)80-100psig <0.5 CFM

可調(diào)過程氣體15-30PSIG

溫度低于29.5攝氏度,非冷凝

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