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UGA (ULT)系列大氣分析設(shè)備

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時間:2023-12-11 12:41:21瀏覽次數(shù):104次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:73條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:韓經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

的質(zhì)譜分析儀,壓強測試范圍從大氣到超高真空壓強,是在線監(jiān)測和混合氣體分析的理想設(shè)備。無論檢測受限制的污染物,溶劑,氫化物,制冷劑或者是腐蝕性氣體,UGA都能勝任。UGA的應用包括半導體尾氣檢測,雜物箱分析,燃料電池的研究,氟利昂檢測,污染檢測,發(fā)酵研究和簡單真空分析。UGA系統(tǒng)自帶windows軟件,實時采集數(shù)據(jù)和圖形化顯示,操作方便快捷。軟件功能中包含模擬的柱狀掃描模式、壓力和時間關(guān)系圖、檢漏測試、氣體分析和在線分析。標準的GPIB和RS232接口方便與計算機連接控制

詳細介紹

商品描述

的質(zhì)譜分析儀,壓強測試范圍從大氣到超高真空壓強,是在線監(jiān)測和混合氣體分析的理想設(shè)備。無論檢測受限制的污染物,溶劑,氫化物,制冷劑或者是腐蝕性氣體,UGA都能勝任。UGA的應用包括半導體尾氣檢測,雜物箱分析,燃料電池的研究,氟利昂檢測,污染檢測,發(fā)酵研究和簡單真空分析。

UGA系統(tǒng)自帶windows軟件,實時采集數(shù)據(jù)和圖形化顯示,操作方便快捷。軟件功能中包含模擬的柱狀掃描模式、壓力和時間關(guān)系圖、檢漏測試、氣體分析和在線分析。標準的GPIB和RS232接口方便與計算機連接控制



UGAPM 系列過程監(jiān)控系統(tǒng)

UGAPM 系列過程監(jiān)測系統(tǒng)是為分析過程氣體而設(shè)計的現(xiàn)代質(zhì)譜儀。它們的工作范圍為 20 Torr 到 1 mTorr。入口以低流速(約5x10 -5  mbar L/sec)連續(xù)采樣氣體,使儀器成為在線分析的理想選擇。

UGAPM 應用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空鍍膜/等離子蝕刻、蒸發(fā)、濺射沉積、真空熱處理、靶材老化、泄漏檢測/虛擬泄漏/解吸、污染研究、小體積分析(0.1 mL范圍)等。

這些分析儀也易于操作和維護。所有組件都可以從前面板或遠程計算機進行控制。在 UGAPM 系統(tǒng)中,使用 1/16" 或 1/8" OD 的 SS 毛細管來適應中真空采樣。使用這種配置,處理室和分析儀之間的死體積幾乎為零。

工作原理

UGAPM 系統(tǒng)使用單級毛細管減壓入口,用于 1 mTorr 至 20 Torr 的樣氣。在壓力降低到大約10 -6  Torr之后,氣流被送到質(zhì)譜儀(殘余氣體分析儀——RGA),該質(zhì)譜儀測量每個目標質(zhì)量的濃度。

UGAPM Windows 軟件為復雜的繪圖和數(shù)據(jù)分析提供了一個圖形用戶界面。該軟件還允許遠程控制系統(tǒng)的閥門、加熱器和泵。

多毛細管入口

可選的多入口閥具有兩種可能的配置。一種是多通道配置,可適用于不同位置的一種特定樣品壓力。另一種是多量程配置,可適用于不同量程的樣品壓力。

使用您的 UGAPM

UGAPM 系統(tǒng)可以通過前面板或計算機進行控制。提供所有系統(tǒng)組件的手動或自動控制選擇。

使用 UGAPM 軟件測量和顯示數(shù)據(jù)。直觀的用戶界面允許快速輕松地進行測量。實時捕獲和顯示數(shù)據(jù),或計劃在時間采集數(shù)據(jù)。

功能包括模擬和直方圖掃描模式、壓力與時間圖、泄漏檢測、氣體庫和在線幫助。

RGA 參數(shù)也可以通過高級 ASCII 命令等進行控制和監(jiān)視。標準 RS-232和以太網(wǎng)接口用作您 PC 的數(shù)據(jù)鏈路。

UGAPM 分析儀提供目前可用的任何系統(tǒng)的價值。它們提供更高的性能、更好的功能,并且價格遠低于競爭對手。



UGAPM 規(guī)格

進口

類型不銹鋼毛細管,兩個額外的2-3/4" CF 端口
流量在應用壓力下為10 -410 -5 Torr-L/sec
壓力可選擇1 X 10 -3  mbar至 15 mbar

質(zhì)譜儀

類型四極桿 (RGA)
探測器法拉第杯和電子倍增器
范圍100、200 或 300 原子質(zhì)量單位 (amu)
解決在 10 % 峰高處優(yōu)于 0.5 amu
檢測限<10 ppm 使用法拉第杯檢測器,<1 ppm 使用電子倍增器
運營壓力 FC 為10 -4 mbar ,CDEM為10 -6  mbar

連接

進樣口1/16" 或 1/8" 世偉洛克接頭
排氣1/4" Tygon 管適配器
計算機以太網(wǎng)或 RS-232C,DB9 連接器
力量3針接地線

UGA軟件

軟件Windows 應用程序。控制 UGAPM 系統(tǒng),包括 RGA。

系統(tǒng)

混合渦輪分子/阻力泵,81 升/秒。極限壓力2 x 10 -9  mbar。極限壓力小于 7 mbar 的隔膜泵。防護等級 IP44

材料

建造SS304 和 SS316
絕緣子氧化鋁、陶瓷
密封件Viton ®、丁腈橡膠和丁腈橡膠、銅墊片
各種各樣的鋁,Tygon ®

一般的

啟動時間距句號 8 分鐘
限度。環(huán)境溫度。35°C
電力需求<600 W,110 V / 60 Hz220 V / 50 Hz(不可現(xiàn)場選擇)
方面12" × 11" × 27" (WHL)
重量75 磅
保修單一年零件和人工材料或工藝缺陷。泵密封件和隔膜的保修期為 90 天。


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