UGAPM 系列過程監(jiān)控系統(tǒng)
UGAPM 系列過程監(jiān)測系統(tǒng)是為分析過程氣體而設(shè)計的現(xiàn)代質(zhì)譜儀。它們的工作范圍為 20 Torr 到 1 mTorr。入口以低流速(約5x10 -5 mbar L/sec)連續(xù)采樣氣體,使儀器成為在線分析的理想選擇。
UGAPM 應用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空鍍膜/等離子蝕刻、蒸發(fā)、濺射沉積、真空熱處理、靶材老化、泄漏檢測/虛擬泄漏/解吸、污染研究、小體積分析(0.1 mL范圍)等。
這些分析儀也易于操作和維護。所有組件都可以從前面板或遠程計算機進行控制。在 UGAPM 系統(tǒng)中,使用 1/16" 或 1/8" OD 的 SS 毛細管來適應中真空采樣。使用這種配置,處理室和分析儀之間的死體積幾乎為零。
工作原理
UGAPM 系統(tǒng)使用單級毛細管減壓入口,用于 1 mTorr 至 20 Torr 的樣氣。在壓力降低到大約10 -6 Torr之后,氣流被送到質(zhì)譜儀(殘余氣體分析儀——RGA),該質(zhì)譜儀測量每個目標質(zhì)量的濃度。
UGAPM Windows 軟件為復雜的繪圖和數(shù)據(jù)分析提供了一個圖形用戶界面。該軟件還允許遠程控制系統(tǒng)的閥門、加熱器和泵。
多毛細管入口
可選的多入口閥具有兩種可能的配置。一種是多通道配置,可適用于不同位置的一種特定樣品壓力。另一種是多量程配置,可適用于不同量程的樣品壓力。
使用您的 UGAPM
UGAPM 系統(tǒng)可以通過前面板或計算機進行控制。提供所有系統(tǒng)組件的手動或自動控制選擇。
使用 UGAPM 軟件測量和顯示數(shù)據(jù)。直觀的用戶界面允許快速輕松地進行測量。實時捕獲和顯示數(shù)據(jù),或計劃在時間采集數(shù)據(jù)。
功能包括模擬和直方圖掃描模式、壓力與時間圖、泄漏檢測、氣體庫和在線幫助。
RGA 參數(shù)也可以通過高級 ASCII 命令等進行控制和監(jiān)視。標準 RS-232和以太網(wǎng)接口用作您 PC 的數(shù)據(jù)鏈路。
最
UGAPM 分析儀提供目前可用的任何系統(tǒng)的價值。它們提供更高的性能、更好的功能,并且價格遠低于競爭對手。