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生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)TETRA 150

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品       牌

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)TETRA 150 產(chǎn)品說明: 150L的生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)TETRA 150可滿足不同的生產(chǎn)需求,可組成和不同的生產(chǎn)模塊系統(tǒng),接受客戶定制。 應(yīng)用領(lǐng)域: 主要應(yīng)用領(lǐng)域有:考古 汽車 生物技術(shù) 彈性體技術(shù) 電子技術(shù) 電子顯微鏡 精密工程 研究和開發(fā) 半導(dǎo)體技術(shù) 小批量生產(chǎn) 塑料技術(shù) 醫(yī)療技術(shù) 微系統(tǒng)技術(shù) 太陽(yáng)能電池技術(shù) 紡織技術(shù) 。 在線咨詢

詳細(xì)介紹

    設(shè)備:生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)TETRA 150
    銷售:
    產(chǎn)品功能:

    清洗: 工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗,也可與特定氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)從而被清洗,清洗掉的工藝污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出。如:去除有機(jī)污染物,去除納米級(jí)微粒,去除氧化層。

    活化:工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后,會(huì)在表面形成氧原子團(tuán),這樣能使部件表面親水性和表面張力提高,能使涂料和粘接劑更好的附著于上,提高其的粘合力和附著力。
    如:PDMS鍵合,粘接前的預(yù)處理,涂裝前的預(yù)處理,印刷前的預(yù)處理。

    蝕刻:工藝部件表面通過特定氣體達(dá)到精確濺射,表面材料被剝離,轉(zhuǎn)變成氣相被排出,濺射后的材料表面積增大并更易濕潤(rùn),也使材料表面更粗糙化。通過改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀。如:硅蝕刻,PTFE/PFA/FEP蝕刻,光刻膠去除。


    涂層:使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應(yīng),前驅(qū)單體導(dǎo)入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面,隨即發(fā)生聚合反應(yīng),形成聚合物層。如:疏水層,親水層,保護(hù)/阻隔層,干潤(rùn)滑層,疏油層。

     

     

    主要技術(shù)參數(shù)1. 便捷的FULL PC觸摸屏控制系統(tǒng)
    2. 根據(jù)工藝要求不同,可設(shè)定功率、壓強(qiáng)、氣體流量與時(shí)間等參數(shù)
    3.  三路工作氣體(可通多種氣體O2、N2,Ar),氣體流量通過數(shù)字式流量計(jì)(MFC)控制
    4. *反應(yīng)艙為不銹鋼制,L400xD625xH600mm ,容積為150L
    5. 反應(yīng)艙門鋁制,帶有玻璃觀察窗
    6.    樣品托盤:十層,W340*D580mm/層
    7. 配有Pirani壓力計(jì),實(shí)時(shí)數(shù)字顯示反應(yīng)艙的壓力值
    8. 高周波電流頻率13.56MHz功率0~600W (或者0~1000W)
    9. 反射波自動(dòng)調(diào)節(jié),無(wú)須手工調(diào)節(jié)
    10. 電極材質(zhì)為鋁/不銹鋼
    11. 真空泵為L(zhǎng)eybold D65B LVO 100,排氣速度65m3/hour,配有氧氣強(qiáng)制進(jìn)氣閥
    12. 配有壓力傳感器,可根據(jù)工藝要求設(shè)定壓力值
    13. 600mm(L)*800mm(D)*1700mm(H)(含電源線突出部分)
    14. 電源電壓:三項(xiàng)AC400V 32A

    選配:
    控制系統(tǒng): PCCE全自動(dòng)控制/PC全自動(dòng)控制。

     
    氣體:
    多路氣體
     
    腔體:
    矩形不銹鋼,帶鉸鏈的門(約寬 400 mm x 高 600 mm x 深 625 mm)矩形鋁制腔室(約寬 400 mm x 高 600 mm x 深 625 mm)     托盤:石英玻璃舟皿/粉末轉(zhuǎn)鼓/散裝件轉(zhuǎn)鼓/鋁板/不銹鋼板/硼硅玻璃/石英/水冷型
     
    電極:
    單層或多層/帶氣體噴淋裝置的 RIE 電極
     
    壓力測(cè)量:
    Pirani/電容式壓力計(jì) (適用于腐蝕性氣體版本)
     
    發(fā)生器:
    80 kHz:0- 1000 / 3000 W 13.56 MHz: 0 - 300 W/600 W/ 1000 W 2.45 GHz: 0 - 1200 W
     
    其他:
    ......

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