深圳沃客密科技有限公司
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主要功能：1.適用于藍膜、UV膜、PET襯底膜和雙層膜
主要功能：
1.適用于藍膜、UV膜、PET襯底膜和雙層膜。
2.可選配的能應用于超薄晶圓的的微孔貼膜臺盤。
3.加熱的且?guī)椓Φ馁N膜臺盤設計可自適應不同厚度的晶圓。
4.的貼膜滾輪壓力可調設計。
5.配備圓周刀和橫切刀。
6.可選配的離子風棒靜電去除裝置。
7.體積小，桌面擺放型。
手動貼膜機型號WM6適用于6＂晶圓 WM8適用于8＂晶圓 WM12適用于12＂晶圓
會省膜手動貼膜機：
特別設計的省膜結構，讓手動貼膜機系列貼膜機成為高省膜的手動貼膜機，比普通手動貼膜機可節(jié)約15%左右，大大降低了客戶的貼膜成本；在目前或將來使用昂貴的UV膜時，成本節(jié)省的效果會更顯著。
適用于超薄晶圓的微孔貼膜臺盤（選配）： 微孔設計的貼膜臺盤加上的氣路設計和彈力支持結構，可適用于100um厚度的晶圓、玻璃或陶瓷；此結構和配有空氣柔性彈力，且彈力可調的滾輪裝置可限度地減少在貼膜時對超薄晶圓的破壞，很大限度地降低破片機率。
帶加熱功能和彈力的防靜電特氟龍表面處理貼膜臺盤：
帶加熱且加熱溫度范圍可調的臺盤設計，保證貼膜粘合效果能調整至理想狀態(tài)。帶彈力的臺盤可自適應不同厚度的晶圓、玻璃或陶瓷。表面防靜電的特氟龍?zhí)幚聿坏梢园奄N膜時產生的靜電減到而且還能有效防止對芯片的物理劃傷。本機帶有自動收膜系統(tǒng)可以適用于帶保護膜的雙層膜。
技術規(guī)格
項目 | 參數 | 單位 | 備注 | ||
WF6 | WF8 | WF12 | |||
適用晶圓尺寸 | 3-6 | 3-8 | 3-12 | lnch |
玻璃、陶瓷、LED、PCB等可依尺寸定制 |
適用最小晶圓厚度 | 普通臺盤：150um；微孔臺盤：100um | um | |||
適用Frame尺寸 | 6 | 6/8 | 6/8/12 | lnch | |
臺盤加熱溫度范圍 | 室溫~65 | 室溫~65 | 室溫~65 | ℃ | |
組件更換時間 | ＜10 | ＜10 | ＜10 | 分鐘 | |
機器尺寸 | 850（D）*390(W)*400(H) | 900（D）*450(W)*400(H) | 1000（D）*550(W)*400(H) | mm | |
電源 | AC220 | AC220 | AC220 | V | 50~60HZ |
壓縮空氣 | 0.5~0.8 | 0.5~0.8 | 0.5~0.8 | MPa | |
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