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M81 劃片貼膜機(jī)

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經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：5條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

M81劃片貼膜機(jī)該設(shè)備是手動(dòng)上下料，手動(dòng)拉膜，手動(dòng)貼膜，自動(dòng)壓膜，手動(dòng)切割的貼膜設(shè)備，適用于半導(dǎo)體晶圓劃片制程前的貼膜工序

詳細(xì)介紹

M81 劃片貼膜機(jī)

該設(shè)備是手動(dòng)上下料，手動(dòng)拉膜，手動(dòng)貼膜，自動(dòng)壓膜，手動(dòng)切割的貼膜設(shè)備，適用于半導(dǎo)體晶圓劃片制程前的貼膜工序。
優(yōu)勢(shì)：
兼容6、8英寸劃片環(huán)及3、4、5、6、8英寸晶圓，也可定制。
省膜，做6、8英寸劃片環(huán)可達(dá)到同等的省膜。
貼膜力由氣缸推力產(chǎn)生，貼膜壓力可參數(shù)化調(diào)整。
防靜電特氟龍?zhí)幚碚婵瘴脚_(tái)，溫度室溫~100℃可控。
晶圓放置臺(tái)采用浮動(dòng)設(shè)計(jì)，且高度可調(diào)，因此可兼容貼更大范圍厚度的晶圓，且浮動(dòng)的設(shè)計(jì)能更好地保護(hù)晶圓。
晶圓定位采用標(biāo)線定位。
離型層自動(dòng)纏繞回收，回收力可調(diào)。
膜料與放膜料筒之間的鎖緊無需借助任何工具。
正常貼磨過程中只需用到最右邊的按鈕，操作簡(jiǎn)單。
采用氮?dú)鈴椈蓳危僮鞲×Α?/DIV>
主要元器件均采用進(jìn)口品牌。

規(guī)格：

型號(hào)

M81

劃片環(huán)尺寸

6、8英寸，也可定制

晶圓規(guī)格

兼容4、5、6、8英寸晶圓，也可定制

晶圓厚度

150um - 800um

藍(lán)膜或UV膜

膜種類

寬度≤300mm, 膜料外徑≤200mm, 厚度0.05mm-0.2mm

電力供應(yīng)

AC220V ,50/60 Hz, 5A

功率

小于400W

壓縮空氣

0.5Mpa清潔干燥壓縮空氣

外形尺寸

560mm×860mm×360mm

凈重

50kg

性能：

晶圓收益：≥99.9%

貼膜質(zhì)量：沒有氣泡（不包括碎粒氣泡）

產(chǎn)能：≥90片/小時(shí)

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