標(biāo)稱尺寸外徑3mm的微型壓力傳感器CYG503是專為空氣動(dòng)力學(xué)研究試驗(yàn)中，要求安裝尺寸小，不擾動(dòng)流場，動(dòng)態(tài)響應(yīng)優(yōu)良動(dòng)態(tài)壓力分布測量而設(shè)計(jì)的。應(yīng)用于如發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣道壓力畸變、喘振等的空氣動(dòng)力學(xué)性能測定。

詳細(xì)介紹

CYG503的壓力敏感元件采用*的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技術(shù)設(shè)計(jì)與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細(xì)光刻技術(shù)制作的惠斯頓應(yīng)變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機(jī)械加工，精密各向異性腐蝕形成的硅薄膜力敏結(jié)構(gòu)使其具有很高的壓力靈敏度和小至1.5mm以下的徑向尺度。*的微型化的壓力敏感芯片采用無應(yīng)力封裝技術(shù)，密封封裝在特制的微型安裝基座和不銹鋼毛細(xì)管中。絕壓型傳感器參考壓力腔是芯片背面密封的真空腔，表壓型傳感器的參考壓力腔是通過一根更細(xì)的不銹鋼毛細(xì)管從背面引出與大氣溝通。也為了方便用戶為取得穩(wěn)定的壓力參考而用細(xì)尼龍管將它引至氣壓穩(wěn)定處。

CYG503A絕壓型微型壓力傳感器為探針形，標(biāo)準(zhǔn)外徑為Ф3.5mm，長度為18mm，特制的短柱形CYG503AS將長度縮短為12mm?？蛇x量程為100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa壓力。

CYG503G表壓型微型壓力傳感器為探針形、標(biāo)準(zhǔn)外徑為Ф3.5mm，長度為18mm，背壓引出毛細(xì)管長為12mm?？蛇x量程為160、250、400、600、1000、1600、2500 kpa表壓力。

CYG503的設(shè)計(jì)制作已獲得國家發(fā)明、號為：.3。

CYG504微型螺栓安裝型壓力傳感器是為方便一些用戶使用要求的CYG503的衍生品種，絕壓、表壓均可。它的外形尺寸見附圖。

CYG503、504型傳感器由于用敏感元件正面承壓，因此，它僅適用于介質(zhì)為無腐蝕性，不導(dǎo)電性的干燥氣體。但它有相當(dāng)寬的工作溫區(qū)和非常好的動(dòng)態(tài)頻響?？墒褂玫膭?dòng)態(tài)頻響低至零頻、高至數(shù)十千赫茲。表面增加涂復(fù)保護(hù)可改善介質(zhì)適用能力，但以犧牲頻響特性為代價(jià)。

1、性能指標(biāo)參數(shù)

指標(biāo)/檔級	非線性精度 ±%FS	遲滯重復(fù)性 %FS	零位溫度系數(shù) ×10^-4FS /℃	靈敏度溫度系數(shù) ×10^-4FS /℃	零位時(shí)漂＜mv/8h
JA	0.5	0.1	5	5	0.2
JB	0.2	0.1	2	2	0.1