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天津東方科捷科技有限公司
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更新時間：2025-01-07 08:50:59瀏覽次數(shù)：45次
聯(lián)系我時，請告知來自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)Hitachi CDSEM S9380 Retrofit
Retrofit CDSEM S-9380 執(zhí)行原廠新機(jī)器同樣驗收技術(shù)指標(biāo)：
提供樣品測試驗證；
General
Wafer size : 8-inch (200-mm size)
V-notch wafer of SEMI or JEIDA standards is applicable.
CD measurement principle : Cursor and line profile measurement
CD measurement range : 0.05 to 2.0 mm (either line width or hole diameter)
CD measurement reproducibility : ±1% or 0.6 nm (3 sigma), whichever larger
Throughput : due to the data after modification from Hitachi High-Technologies Corporation
Secondary electron image resolution
: 2 nm (at accelerating voltage of 0.8 kV; with
Hitachi’s reference specimen for resolution measurement)
Magnification : SEM image - 1,000′to 300,000′
Optical microscope image - approximately 110x (220x is optional)
升級：實驗室數(shù)據(jù)上傳接口；
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