
【適用范圍】:真空等離子清洗機,氣體通過激勵電源離化成等離子態(tài),等離子體作用于產品表面,清洗產品表面污染物,提高表面活性,增強附著性能。等離子清洗是一種新型的、環(huán)保、高效、穩(wěn)定的表面處理方式。 【產品詳情】:
手機行業(yè):TP、中框、后蓋表面清洗活化
PCB/FPC行業(yè):孔內鉆污及表面清潔、Coverlay表面粗化及清潔
半導體行業(yè):半導體封裝、攝像頭模組、LED封裝、BGA封裝、Wire Bond前處理
陶瓷:封裝、點膠前處理
表面粗化蝕刻:PI表面粗化、PPS蝕刻、半導體硅片PN結去除、ITO膜蝕刻
塑膠材料:Teflon特氟龍表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材質清洗活化
ITO涂覆前表面清洗
產品放置治具靈活多變,可適應不規(guī)則的產品
水平電極設計,可滿足軟性產品處理需求。
低耗能、耗氣產品。
便捷的收放板方式
真空系統(tǒng)集成,占地面積小
合理的等離子反應空間,使處理更均勻
集成的控制系統(tǒng)設計,使操作更方便
【技術規(guī)格】:
電源系統(tǒng) | | 射頻電源 | 中頻電源 |
功率 | 0~600W | 0~2000W |
頻率 | 13.56MHz | 40KHz |
真空系統(tǒng) | 雙級旋片泵(油泵) | 60m3/h |
真空管路 | 全不銹鋼管路,以及高強度真空波紋管 |
材質 | 鋁合金(可定制不銹鋼腔體) |
厚度 | 25mm |
密封性 | 級焊接密封 |
腔體內部尺寸 | 450×450×500mm(寬×高×深) |
電極板有效尺寸 | 420×411mm(寬×深) |
可用空間間距 | 22.5mm |
電極板布置方式 | 水平布置,可活動抽取 |
工作托盤 | 標配一套,材質可選配(鋁材、鋼絲網) |
工作空間 | 8層 |
氣體系統(tǒng) | 流量范圍 | 0~300SCCM |
工藝氣體氣路 | 標配兩路,可定制 |
控制系統(tǒng) | 系統(tǒng)控制 | PLC |
交付方式 | 7寸觸控屏幕 |
其它參數(shù) | 外形尺寸 | 900×1750×1000mm(寬×高×深) |
重量 | 200KG |
設備外觀顏色 | 銀灰色 |
廠務規(guī)格要求
廠務規(guī)格要求 |
交流電源規(guī)格 | 電源:AC380V,50/60Hz,5線,50A |
廠務排氣 | 流量:2.0 m³/min |
廠務工作氣體要求 | 流量:1~10 L/min 壓力:3~7 kg/cm² 管徑:6×4 mm 材質:PU管 純度:99.99%以上 |
廠務壓縮空氣要求 | 流量:1~10 L/min 壓力:3~7 kg/cm² 管徑:8×5 mm 材質:PU管 露點:-40℃以下 Particle>0.3μm:10Pcs/ft³ |
一般規(guī)格
一般規(guī)格 |
危險標識 | 高壓危險標識 |
使用環(huán)境 | 溫度:15~30℃ 濕度:30~70% |
其他注意事項 | 不可有可燃性氣體,腐蝕性氣體,爆炸或反應性粉塵 氣瓶需固定 |
配置清單
配置清單 |
序號 | 名稱 | 描述說明 | 單位 | 數(shù)量 |
1 | 主機 | 外形尺寸:900×1750×1000mm(寬×高×深) | 臺 | 1 |
2 | 真空腔體 | 鋁合金真空腔體 內尺寸450×450×500mm(寬×高×深) | 個 | 1 |
3 | 激勵電源 | 射頻電源 | 中頻電源 | 套 | 1 |
頻率:13.56MHz; 功率0~600W 或0~1000W可選; 全自動真空電容匹配器 | 頻率:40KHz; 0~1000W; |
4 | PLC | 德國西門子,S7-200 | 個 | 1 |
5 | 觸摸屏 | 威綸通,七寸屏幕,MT6071iE | 個 | 1 |
6 | 流量計 | 英國wawick品牌 | 個 | 2 |
7 | 真空泵組 | 飛越雙級旋片泵(油泵):60m3/h | 臺 | 1 |
8 | 真空計 | 英福康 | 個 | 1 |
9 | 說明書 | 真空等離子清洗機WBE-100操作說明書 | 份 | 1 |
維護保養(yǎng)
維護保養(yǎng) |
項目 | 檢查內容 | 壽命 | 檢查頻率 |
油泵 | 濾芯 | 使用時間2000H | 15天 |
泵油 | 使用時間2000H | 15天 |