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Diener FEMTO系列等離子清洗機(jī)

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  真空型

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Diener FEMTO系列等離子清洗機(jī)

詳細(xì)介紹

德國(guó)Diener electronic成立于1993年，是世界低溫等離子工業(yè)的，是一家專(zhuān)門(mén)研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機(jī)、等離子射頻電源和大氣（常壓）等離子清洗機(jī)的高科技企業(yè)。
用途：
Diener等離子清洗機(jī)可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準(zhǔn)備等?？蛇x擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器，以適應(yīng)不同的清洗效率和清洗效果需要。
Diener等離子清洗/刻蝕機(jī)具有成本低廉、操作靈活的特點(diǎn)，主要適合于高科技生產(chǎn)單位的以下場(chǎng)合：
半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)、集成電路開(kāi)發(fā)、真空電子行業(yè)、生命科學(xué)實(shí)驗(yàn)等等。
Diener等離子清洗/刻蝕機(jī)具有以下特點(diǎn)：
可以更靈活地操作，簡(jiǎn)便地改變處理氣體的種類(lèi)和處理程序；不會(huì)對(duì)操作人員的身體造成任何傷害；其成本對(duì)于等離子處理方法來(lái)說(shuō)是微不足道的。

Femto A

Femto C

Femto D

Femto B

Femto E

Femto 等離子系統(tǒng)能夠以不同的形式進(jìn)行整合，例如以模塊系統(tǒng)的形式。在下文中您可以大致了解能夠與Femto 等離子系統(tǒng)一同使用的見(jiàn)的選裝件。Femto 等離子系統(tǒng)主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：

分析
考古
汽車(chē)行業(yè)
研究和開(kāi)發(fā)部門(mén)
半導(dǎo)體技術(shù)
小批量生產(chǎn)
塑料技術(shù)
醫(yī)療技術(shù)
微系統(tǒng)技術(shù)
傳感器
滅菌
紡織技術(shù)

技術(shù)參數(shù)：

系列	Femto
控制系統(tǒng)	半自動(dòng)型 PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)
體積	1.9~6L
真空腔室	圓形不銹鋼件，配有蓋子（大約Φ100 mm, 長(zhǎng) 278 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門(mén) （約寬 103 x 深 285 x 高 103) 配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門(mén) （大約Φ 95 mm, 長(zhǎng) 280 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門(mén) （大約Φ95 mm, 長(zhǎng) 280 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）配有蓋子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有鉸鏈的門(mén) （大約Φ 95 mm，長(zhǎng) 280 mm 或者長(zhǎng) 600 mm）
電極	單層或多層 RIE
樣品支架	（選項(xiàng)：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃
氣源	針型閥質(zhì)量流量控制器 (MFCs)
壓力計(jì)	Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）
計(jì)時(shí)器	數(shù)字型
高頻電流發(fā)生器	40 kHz: 功率 0 - 100 W；0 - 1000 W 13.56 MHz；功率 0 - 50 W；0 - 300 W 12.45 GHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W 所有發(fā)生器均為 0 - 99% 無(wú)級(jí)可調(diào)型
真空泵	KASHIYAMA
電源	供電電源：臺(tái)式設(shè)備為 230 V，立式設(shè)備為 400 V/3 相位

其他選項(xiàng)

備件套件、壓力計(jì)、腐蝕性氣體設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測(cè)試墨水、氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護(hù)/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z(yǔ)言的文件、現(xiàn)場(chǎng)安裝，包括培訓(xùn)。可應(yīng)要求提供的其他選項(xiàng)。

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