PED等離子發(fā)射檢測器
工作原理:
PED的檢測原理是在檢測器石英小池周圍加以高頻、高強度的電磁場,在高頻、高強電磁場的作用下載氣和雜質氣體被電離為具有較高的能量的等離子體(plasma)。當樣品進入檢測器的石英小池之后,被等離子體電離并發(fā)出不同波長的光,根據波長不同設計不同的濾光片。背景組分發(fā)出的光不能通過被檢測組分的濾光片,這樣就避免了主組分的干擾,光信號經光電二極管轉化為電信號。所以,PED檢測器是一種選擇性的檢測器。
典型應用:
◆ 電子工業(yè)用氣體/高純氣體/特種氣體雜質分析;
◆ 氣體充裝/標準氣配置分析;
◆ 石化化工/煤化工痕量碳氫及雜質檢測;
◆ 制氫/氯堿/多晶硅等化工類行業(yè)氣體分析;
PED可檢測雜質靈敏度(ppb)
規(guī)格參數