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提供電子束曝光/紫外曝光/深硅刻蝕/等離子刻蝕及測(cè)量服務(wù)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地上海
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2022/8/30 10:15:29
  • 訪問(wèn)次數(shù)268
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  上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司是一家專業(yè)從事高性能薄膜沉積及處理設(shè)備、光電材料及軟件、金剛石合成及應(yīng)用、激光等離子體仿真和診斷等產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)口的技術(shù)貿(mào)易服務(wù)型公司。公司至今已與法國(guó)、德國(guó)、英國(guó)、瑞士、意大利、美國(guó)、加拿大、日本、俄羅斯等國(guó)家的多家企業(yè)建立了戰(zhàn)略合作關(guān)系,并服務(wù)于國(guó)內(nèi)從事微電子、半導(dǎo)體、光學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域的研究所和大學(xué)。公司從事領(lǐng)域及產(chǎn)品主要包括:加速器質(zhì)譜儀:第三代14C加速器質(zhì)譜儀系統(tǒng)(AMS),包括全套可兼容第三代石墨化系統(tǒng)AGE3、氣動(dòng)壓樣裝置PSP、鐵制分配器FED、管密封裝置TSE、氣體電離探測(cè)器GID、氣體接口系統(tǒng)GIS、碳酸鹽處理系統(tǒng)CHS、同位素比質(zhì)譜儀IRMS。薄膜制備及處理:磁控濺射儀(magnetron sputtering system)、電子束蒸鍍?cè)O(shè)備(E-beam Evaporation system)、離子束濺射沉積(IBS system)、化學(xué)束外延鍍膜(CBE/GSMBE)、分子束外延設(shè)備(MBE)、離子減薄儀(Ion Milling)、超高真空多功能鍍膜設(shè)備、高精密光學(xué)鍍膜設(shè)備(Optical Coating system)、刻蝕機(jī)(RIE, RIEB)、超導(dǎo)約瑟夫森結(jié)制備(Josephson Junction, Qubits);金剛石制備及應(yīng)用:納米晶金剛石制備設(shè)備、熱絲化學(xué)氣相沉積(HFCVD)、CVD單晶金剛石合成設(shè)備、CVD光學(xué)級(jí)金剛石窗口合成、微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)、工具級(jí)金剛石涂層制備(tool coating)、金剛石單晶/多晶摻雜(single crystal diamond and doping)、CVD金剛石單晶及其應(yīng)用、高溫高壓金剛石單晶(HPHT diamond)、金剛石拋光設(shè)備(diamond polishing)、激光切割設(shè)備(laser cutting)、鉆石凈度及切工評(píng)定儀器;高能密度物理:輻射流體力學(xué)模擬、原子光譜分析軟件、多維碰撞輻射軟件、三維熱輻射CAD軟件、狀態(tài)方程和不透明度、原子物理數(shù)據(jù)庫(kù);微波干涉儀、金剛石靶丸、超高功率輸出窗口;激光器與設(shè)計(jì):固體激光器設(shè)計(jì)軟件(Solid-state Laser)、光纖激光器設(shè)計(jì)軟件(Fiber laser)、半導(dǎo)體激光器設(shè)計(jì)軟件(Semiconductor laser)、激光鏡面鍍膜設(shè)備(Lasers coating system)、高功率激光輸出窗口(High power output window)、高功率激光熱沉片(Heat Sink)、高功率鉆石激光器(Diamond Laser)、金剛石窗口鍍?cè)鐾改?AR coating service);
質(zhì)譜儀
我公司能夠提供下列服務(wù):電子束曝光:制備光刻膠圖像作為掩膜,最小可以制備線寬為7nm的圖像
提供電子束曝光/紫外曝光/深硅刻蝕/等離子刻蝕及測(cè)量服務(wù) 產(chǎn)品信息

我公司能夠提供下列服務(wù):

 

電子束曝光:制備光刻膠圖像作為掩膜,最小可以制備線寬為7nm的圖像;

紫外曝光:可以制備不同厚度的光刻膠圖像作為掩膜,最小線條為1um;

 

牛津深硅刻蝕,深寬比至少可以達(dá)到10:1,可以把250um的硅片刻蝕穿透,且側(cè)壁陡直光滑、不長(zhǎng)草;

德國(guó) ICP等離子刻蝕,可以刻蝕各種金屬、氧化物、半導(dǎo)體等材料;

 

測(cè)試SEM/EDS、臺(tái)階儀、橢偏儀器、安捷倫半導(dǎo)體分析儀、AFM、XPS以及劃片機(jī)(切割硅片、玻璃、藍(lán)寶石等)等

 

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