■豐富的應(yīng)用領(lǐng)域
MX8R 集成了明場、暗場、偏光、DIC 等多種觀察功能。 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢測。
■安全穩(wěn)固的機(jī)架結(jié)構(gòu)
機(jī)身采用低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬型工業(yè)檢測專用機(jī)架，具備的抗震、吸震能力，包裝觀察圖像的穩(wěn)定性。
■高性能物鏡轉(zhuǎn)換器
MX8R采用精密軸承設(shè)計(jì)的高性能物鏡轉(zhuǎn)換器，轉(zhuǎn)動手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。
■大行程機(jī)械移動平臺
采用8英寸三層機(jī)械移動平臺，可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密模具的檢測、可觀察較厚的標(biāo)本。平臺面積525X330mm，移動范圍210X210mm，采用離合器手柄，只需握住手柄即可靈活移動。
光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)色差光學(xué)系統(tǒng) |
觀察方式 | 明場/暗場/偏光/DIC |
觀察筒 | 30°傾斜，正像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒，曈距調(diào)節(jié)：50-76mm,分光比：100:0或0:100 |
30°傾斜，倒像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察頭，曈距調(diào)節(jié)范圍50-76mm,三檔式分光比：0:100或20:80或100:0 |
5-35°傾角可調(diào)，倒像，無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察頭，曈距調(diào)節(jié)范圍50-76mm,三檔式分光比：0:100或50:50或100:0 |
目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/25mm,視度可調(diào)，可帶單刻度十字分劃板 |
高眼點(diǎn)大視野平場目鏡PL10X/26.5mm,視度可調(diào)，可帶單刻度十字分劃板 |
物鏡 | 無限遠(yuǎn)明暗場半復(fù)消金相DIC物鏡5X、10X、20X 、50X、 100X |
無限遠(yuǎn)長工作距平場明暗場消色差金相DIC物鏡20X |
無限遠(yuǎn)長工作距平場明暗場消色差金相物鏡50X 、 100X |
轉(zhuǎn)換器 | 明暗場五孔轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 |
明暗場、明場六孔轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 |
明場七孔轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 反射式機(jī)架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm ；帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置；內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，帶光亮度設(shè)定暗扭與復(fù)位按扭 |
明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心均可調(diào)；帶明暗場照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
載物臺 | 右手位8英寸三層機(jī)械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；平臺面積525mmx330mm,移動范圍： 210mmx210mm ；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動；玻璃載物臺板，（反射用） |
反射照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心均可調(diào)；帶明暗場照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影攝像 | 0.5X/0.65X/1X攝像接筒，C型接口，可調(diào)焦 |
其他 | 起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板；DIC微分干涉組件；反射用干涉濾色片組；高精度測微尺 |
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