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晶圓搬送機(jī) AL120

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更新時間：2025-05-26 08:06:00瀏覽次數(shù)：14次

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上海富萊光學(xué)科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

適應(yīng)范圍廣、搭配靈活對應(yīng)多種尺寸組合我們推出了200mm專用型、200mm/150mm兼用型和150mm型（對應(yīng)小于150mm的晶圓）的3種型號

詳細(xì)介紹

適應(yīng)范圍廣、搭配靈活

對應(yīng)多種尺寸組合

我們推出了200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（對應(yīng)小于150 mm的晶圓）的3種型號。除此以外，您還可以根據(jù)檢查模式，選用微觀檢查專用型號"L型"或微觀?宏觀檢查兼用型號"LMB型"。

薄片檢查

對應(yīng)薄片制造廠家的需求，AL120-LMB-90搭載的新型搬送手臂的設(shè)計可以搬運(yùn)整盒25枚90 μm的薄晶圓。

高度實用性

進(jìn)一步優(yōu)化的宏觀檢查

操作便捷

為了滿足各種常規(guī)檢查的要求，AL120可以登記多達(dá)10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度?？焖俨藛芜x擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。

晶圓搬送機(jī)的菜單設(shè)置和設(shè)置參數(shù)都會在新型的LCD顯示器上顯示。使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應(yīng)SLOT，便于操作者再次確認(rèn)。

AL120使用非接觸光學(xué)定位、查找和對齊缺口／平面，可以減少晶圓和設(shè)備之間的接觸，提高晶圓的清潔度。

高度可靠性

優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安全

為了能夠安全的安裝晶圓，采用了在裝置正面放置片盒的設(shè)計。

在安全性和人機(jī)工學(xué)上通過了SEMI S2/S8檢測，同時，在環(huán)境保護(hù)方面遵守了RoHS指令。

堅固、耐用的顯微鏡底座

AL120搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列，通過各種觀測方法，包括：明視場、暗視場、微分干涉（DIC）、近IR（近紅外線）和DUV（深紫外線），實現(xiàn)了的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定，可以優(yōu)化各物鏡的照明和對比度。如果特別訂制，AL120還可以應(yīng)用到其他型號的顯微鏡上。

人機(jī)工程學(xué)設(shè)計的載物臺

手動快速釋放真空載物臺可以提高操作員的舒適度和工作效率，標(biāo)準(zhǔn)功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能。

可通過操縱桿或預(yù)編程的程序控制電動載物臺，進(jìn)一步將檢查過程自動化。只需一鍵便可驅(qū)動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置。

晶圓搬送機(jī) AL120 規(guī)格
		200 mm專用型	200 mm/150 mm 兼用型				150 mm型
		AL120- LMB8- 90	AL120- LMB86- 180	AL120- L86- 180	AL120- LMB86	AL120- L86	AL120- LMB6- 150	AL120- L6- 150
晶圓尺寸（SEMI規(guī)格）		200mm	200mm / 150mm				150mm / 125mm / 100mm
晶圓最小厚度		90µm	180µm		400µm		150µm
片盒類型*		SEMI規(guī)格：25（26）個slot
片盒數(shù)		1
檢查模式		全部檢查／抽樣檢查
搬運(yùn)順序	微觀檢查（顯微鏡檢查）	○	○	○	○	○	○	○
	表面宏觀檢查	○	○		○		○
	背面宏觀檢查	○	○		○		○
	二次背面宏觀檢查	○	○		○		○
晶圓定位（每 90o）		非接觸（定位平邊／V型槽）					非接觸（定位平邊）
適配顯微鏡型號		奧林巴斯半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX61
尺寸（mm）		主機(jī)部分：640 (W) × 620 (D) × 378 (H)，配備顯微鏡時：1100 (W) × 620 (D) × 378 (H)					主機(jī)部分：570 (W) × 620 (D) × 400 (H)，配備顯微鏡時：980 (W) × 620 (D) × 400 (H)
重量（kg）（僅主機(jī)部分）		44	44	41	44	41	40	37
使用環(huán)境（電源／真空）		AC100 V～120 V、1 A或AC220 V～240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67～-80 kPa、20 Liter/min以上