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噴金儀 FSEM A200

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更新時間：2025-05-22 10:53:19瀏覽次數(shù)：1次

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蘇州費馬科儀自動化技術有限公司

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產(chǎn)品簡介

如果要用掃描電鏡(SEM)或透射電鏡(TEM)獲得高質(zhì)量的樣本成像，樣本需要具有導電性，以避免電荷聚積。如果樣本沒有足夠高的導電性，您可以用濺射鍍膜法快速為其鍍上導電層。還可以使用碳蒸鍍或電子束蒸鍍方法。這類鍍膜既可以保護樣本，增強電子顯微成像的對比度，又可以作為小規(guī)模樣本的透射電鏡載網(wǎng)支撐膜。

詳細介紹

設備概述

FSEM系列噴金儀適用于常規(guī)SEM和TEM分析。該設備是全自動系統(tǒng)，從而使操作變得極為簡便。秉承人體工學設計理念的同時，緊湊的外觀設計和更小的桌面占用面積為您大大節(jié)約了實驗室空間。FSEM系列噴金儀為全閉環(huán)真空設計，配有全量程皮拉尼真空計等多個傳感器實時監(jiān)控運行狀態(tài)，保證儀器安全穩(wěn)定運行。采用高性能旋葉真空泵，快速獲得＜1Pa的真空環(huán)境，高精度的濺射電源采用恒流控制，鍍膜更純，膜厚更準，結(jié)果重復性更好。

產(chǎn)品特點

◇ 設計美觀，操作簡單，界面友好、一鍵鍍膜

◇ 可直接放置12個標準釘型樣品臺，無需工作人員介入，節(jié)省人力和時間

◇ 采用ARM架構，全自動控制，控制精度高，操作簡單

◇ 低電壓，穩(wěn)定真空環(huán)境，可濺射多種常用金屬金、鉑、鈀、銀等

◇ 濺射顆?？蛇_納米級別，濺射顆粒＜5nm制備薄膜致密，適合高分辨SEM使用

◇ 采用磁控濺射技術，利用平面磁場減少溫度的變化，適用于溫度敏感樣品

◇ 配有多個傳感器實時監(jiān)控運行狀態(tài)，保證儀器使用安全

◇ 長期運行，穩(wěn)定可靠，無需特殊維護

◇ 具備開關機數(shù)據(jù)存儲記憶，修復長期應用偏差

◇ 儀器可全自動控制，更方便用戶實現(xiàn)各種自動化控制操作

◇ 軟件遵循GMP規(guī)范，方便實現(xiàn)用戶管理，使用記錄等功能

技術參數(shù)

設備型號	FSEM A200
濺射類型	低壓磁控平面濺射
靶材尺寸	直徑50mm，靶材利用率
控制模式	5寸觸摸屏全自動程序控制
真空系統(tǒng)	機械旋葉泵，極限真空＜1Pa真空抽速1L/s
真空測量	全量程皮拉尼數(shù)字真空計
工作真空	2-8Pa，真空精度可達0.1Pa
樣品臺	可升降，可放置12個標準釘型臺，直徑可達65mm
濺射電源	恒流磁控DC濺射電源300-600V，Max50mA控制精度可達1mA
濺射時間	≤600s，控制精度1s
真空腔室	φ130×100mm
供電要求	200-240VAC 50Hz，功率500W
外形尺寸	420×260×280mm

配置清單

序號	名稱	規(guī)格	數(shù)量
1.	噴金儀主機	FSEM A200	1臺
2.	鉑金靶材	50×0.1mm	1個
3.	真空管路	KF16-1.2m	1根
4.	機械真空泵	VRD-4	1臺
5.	合格證、保修卡、說明書、裝箱單	/	1套