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行業(yè)產(chǎn)品

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武漢迪凱光電科技有限公司


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RTP紅外測溫儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地武漢市

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更新時間：2025-05-14 11:02:43瀏覽次數(shù)：27次

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產(chǎn)品簡介

主要應(yīng)用：半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的溫度測量如：RTA、RTP、CVD等工藝。

詳細(xì)介紹

RTP紅外測溫儀特點

 

兩種光學(xué)采集系統(tǒng)可供選擇： 光導(dǎo)型、透鏡型

光導(dǎo)型的優(yōu)點：直徑小，僅通過很小的通光孔徑，能夠從大視場角度收集輻射能量，采集到極限低溫信號。

透鏡型：適合遠(yuǎn)距離測量小目標(biāo)或透過觀察窗測量目標(biāo)溫度。

短波長實現(xiàn)低溫目標(biāo)溫度測量

嚴(yán)謹(jǐn)科學(xué)的設(shè)計、可實現(xiàn)10 -13 A的信號的放大；實現(xiàn)短波長測量低溫目標(biāo)的能力；短波長顯著降低發(fā)射率造成的測量誤差，是許多應(yīng)用的理想選擇，如半導(dǎo)體工業(yè)中硅片的溫度測量。

溫度分辨可達(dá)0.01℃

嚴(yán)謹(jǐn)?shù)碾娐吩O(shè)計使得電噪聲更小，可實現(xiàn)低溫目標(biāo)的準(zhǔn)確測量。高溫度分辨力使得溫度控制過程更加平穩(wěn)。

測量速度高達(dá)1Khz(1ms)

該系列測溫儀可以提供每分鐘一個讀數(shù)直至每秒1000個讀數(shù)，客戶可按需選擇。此外，測溫儀執(zhí)行所有內(nèi)部的A/D轉(zhuǎn)換，每臺儀器提供一個數(shù)字信號輸出。

寬范圍的溫度測量能力

高精的電子元器件及光路設(shè)計使得測溫儀測溫范圍更寬，可以實現(xiàn)從室溫（25℃）到4000℃ 的高溫測量。

低漂移

的元器件選擇和設(shè)計有效減少電子器件中的漂移，測溫儀實現(xiàn)溫漂不高于 0.1 ºC / 年。

精巧易安裝，不再依賴光纖

小尺寸、高性能使得測溫儀能夠在離熱源足 夠近的地方測溫，且不再需要長柔性光纖元件。在需要光纖的應(yīng)用中， 迪凱的產(chǎn)品仍然具有顯著優(yōu)勢，可提供全系列柔性石英光纖，以滿足不同使用現(xiàn)場需求。

 

基本參數(shù)

測量溫度范圍  100-1300℃

測量精度：±1.5℃/0.15%讀數(shù)

重復(fù)精度：±0.10℃

分辨率：  0.01℃
響應(yīng)時間：1ms    
通光孔徑:  2mm（其它可選）

 

電氣參數(shù)

數(shù)字輸出：RS422

模擬輸出：無

操作參數(shù)及執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)

防護(hù)等級：IP65

工作溫度：10-60℃

存儲溫度：-20-70℃

相對濕度：10-95%,無結(jié)露

抗擾標(biāo)準(zhǔn)：JB/T9233.11-1999

抗沖擊：  GB/T2423.1,GB/T2423.2

 


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