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天津福川制冷設(shè)備技術(shù)有限公司
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更新時(shí)間：2024-12-10 11:58:54瀏覽次數(shù)：49次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)低溫真空泵低溫真空泵是利用10K（-263℃）低溫制冷機(jī)作為冷源，通過(guò)低溫冷凝、低溫吸附的原理獲得無(wú)油高真空的設(shè)備，低溫真空泵廣泛應(yīng)用于：1）半導(dǎo)體、集成電路、光電器件的鍍膜工藝過(guò)程；2）光學(xué)鏡片鍍膜；3）磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線；4）空間環(huán)境模擬；5）真空排氣臺(tái)等
低溫真空泵
低溫真空泵是利用10K（-263℃）低溫制冷機(jī)作為冷源，通過(guò)低溫冷凝、低溫吸附的原理獲得無(wú)油高真空的設(shè)備，
低溫真空泵廣泛應(yīng)用于：
1）半導(dǎo)體、集成電路、光電器件的鍍膜工藝過(guò)程；
2）光學(xué)鏡片鍍膜；
3）磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線；
4）空間環(huán)境模擬；
5）真空排氣臺(tái)等。
低溫真空泵主要特點(diǎn)：
1）低溫真空泵是吸附式真空泵，工作時(shí)無(wú)需前級(jí)泵；
2）低溫真空泵需要再生；
3）低溫真空泵對(duì)不同氣體具有不同的抽速和抽氣容量。
低溫真空泵的主要優(yōu)點(diǎn)：
1）高極限真空度?；拘涂蛇_(dá)10-6Pa真空度，特殊要求時(shí)可達(dá)10-7Pa以上；
2）大抽速。對(duì)空氣尤其是對(duì)水蒸汽具有超高的抽速，其它真空泵不可比擬；
3）真正潔凈。
4）運(yùn)行成本低
5）安全可靠
6）使用方便
7）使用壽命長(zhǎng)
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