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PEALD&CVD聯(lián)合鍍膜系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

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更新時(shí)間:2024-09-05 10:00:09瀏覽次數(shù):197次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:54條

所在地區(qū):廣東深圳市

聯(lián)系人:瞿經(jīng)理

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

矽碁科技利用PEALD和PECVD各自鍍膜的特點(diǎn)為用戶(hù)開(kāi)發(fā)了PECVDPEALD聯(lián)合鍍膜系統(tǒng),用于半導(dǎo)體工藝中的薄膜封裝

詳細(xì)介紹


矽碁科技利用PEALD和PECVD各自鍍膜的特點(diǎn)為用戶(hù)開(kāi)發(fā)了PECVD&PEALD聯(lián)合鍍膜系統(tǒng),用于半導(dǎo)體工藝中的薄膜封裝。ALD技術(shù)可以制備非常薄,非常致密的薄膜,但ALD技術(shù)制備致密薄膜需要的時(shí)間比較長(zhǎng),這在工業(yè)生產(chǎn)中是不能容忍的。為了克服ALD鍍膜速度慢的劣勢(shì),將其與PECVD快速制備介質(zhì)薄膜的技術(shù)集成到一起,可以實(shí)現(xiàn)多種不同材料交替堆疊的薄膜結(jié)構(gòu)。實(shí)踐證明,這種交替結(jié)構(gòu)的薄膜封裝性能可以達(dá)到與ALD技術(shù)同等的封裝效果,同時(shí)降低了整個(gè)封裝過(guò)程占用的時(shí)間。


ALD

1 不銹鋼腔體,雙層加熱設(shè)計(jì);

2 等離子體增強(qiáng)模塊集成于腔體上蓋;

3 進(jìn)口高速ALD隔膜閥;

4 12英寸基片;

5 基片加熱400℃;

6 最多可提供6路前驅(qū)物和6路工藝氣體;

7 氣路全金屬密封,并可加熱至120℃;

8 可提供前驅(qū)體鋼瓶加熱或冷卻;

9 可全自動(dòng)控制工藝過(guò)程,同時(shí)也可以手動(dòng)操作。


PECVD

1 基片尺寸可定制;

2 低溫工藝:< 150℃ / 350℃;

3 多層式工藝氣體導(dǎo)入,氣體分布均勻;

4 獨(dú)立MFC控制箱,可靈活擴(kuò)充工藝氣路;

5 基片內(nèi)鍍膜均勻性?xún)?yōu)于 ±5%;

6 可與手套箱集成;




多層薄膜封裝技術(shù)

不同技術(shù)對(duì)比


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