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北京瑞科中儀科技有限公司
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供應(yīng)超高真空磁控濺射外延系統(tǒng)價(jià)格

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

更新時(shí)間:2025-07-04 08:59:36瀏覽次數(shù):529次

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超高真空磁控濺射外延系統(tǒng)是一種的薄膜制備設(shè)備,結(jié)合了超高真空技術(shù)和磁控濺射技術(shù),用于在襯底上外延生長高質(zhì)量的薄膜材料。

超高真空磁控濺射外延系統(tǒng)是一種的薄膜制備設(shè)備,結(jié)合了超高真空技術(shù)和磁控濺射技術(shù),用于在襯底上外延生長高質(zhì)量的薄膜材料。該系統(tǒng)具有以下幾個(gè)主要特點(diǎn):

1. 超高真空環(huán)境:系統(tǒng)能夠在的真空度下工作,以消除雜質(zhì)和污染,確保薄膜的純度和質(zhì)量。超高真空環(huán)境有助于減少薄膜生長過程中的缺陷和雜質(zhì),提高薄膜的均勻性和穩(wěn)定性。

2. 磁控濺射技術(shù):該技術(shù)利用磁場對濺射過程進(jìn)行控制,使得濺射粒子更加均勻地沉積在襯底上。磁控濺射具有高速、低溫、低損傷等優(yōu)點(diǎn),適用于制備各種金屬、半導(dǎo)體和絕緣體薄膜。

3. 外延生長:外延生長是一種在單晶襯底上生長單晶薄膜的方法,能夠保持薄膜與襯底之間的晶格匹配。超高 真空磁控濺射外延系統(tǒng)通過精確控制生長條件,可以在襯底上生長出具有優(yōu)異性能的單晶薄膜。

4. 靈活性和可擴(kuò)展性:該系統(tǒng)可根據(jù)具體需求進(jìn)行定制,增減不同的功能模塊,如殘余氣體分析(RGA)、反射高能電子衍射(RHEED)或橢偏儀(ellipsometry)等,以滿足不同薄膜制備和研究的需要。

5. 高溫處理能力:系統(tǒng)配備有加熱裝置,可以對襯底進(jìn)行高溫處理,以滿足某些薄膜生長所需的特定溫度條件。

超高真空磁控濺射外延系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、材料科學(xué)等領(lǐng)域,用于制備高質(zhì)量的薄膜材料,以滿足各種高性能器件和應(yīng)用的需求。

 

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