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美能探針式臺(tái)階儀SP200

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蘇州上器試驗(yàn)設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

表面微觀特征是材料、化學(xué)、精密制造等領(lǐng)域的主要研究?jī)?nèi)容，準(zhǔn)確地評(píng)價(jià)表面微觀形貌、表面特征等，對(duì)于相關(guān)材料的評(píng)定、性能的分析和加工工藝的改善都具有重要意義。在半導(dǎo)體、光伏、LED、MEMS器件、材料等領(lǐng)域，表面臺(tái)階高度、膜厚的準(zhǔn)確測(cè)量具有十分重要的價(jià)值，尤其是臺(tái)階高度是一個(gè)重要的參數(shù)，對(duì)各種薄膜臺(tái)階參數(shù)的精確、快速測(cè)定和控制，是保證材料質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率的重要手段。

詳細(xì)介紹

出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性

(1)單拱龍門(mén)式設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性優(yōu)異，大大降低了周?chē)h(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響，提高了測(cè)量精度。；
(2)線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級(jí)分辨率，13um 量程下可達(dá)0.01 埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。;

超微力恒力傳感器：1-50mg可調(diào)

的傳感器設(shè)計(jì)使得在單一平臺(tái)上即可實(shí)現(xiàn)超微力和正常力測(cè)量。測(cè)力恒定可調(diào)，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制，實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測(cè)量。

超平掃描平臺(tái)

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌，杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng)，提高掃描精度，真實(shí)反映工件微小形貌。

全自動(dòng)XY載物臺(tái)，Z軸自動(dòng)升降、360°全自動(dòng)θ轉(zhuǎn)臺(tái)

精密的XY平臺(tái)結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái)，可以對(duì)樣品的位置以及角度進(jìn)行調(diào)節(jié)，三維位置均可以調(diào)節(jié)，利于樣品調(diào)整，提高測(cè)量效率。

項(xiàng)目	內(nèi)容
技術(shù)測(cè)量	探針式表面輪廓測(cè)量技術(shù)
樣品觀測(cè)	光學(xué)導(dǎo)航攝像頭：500萬(wàn)像素高分辨率彩色攝像機(jī)，F(xiàn)oV，1700*1400μm
探針傳感器	超低慣量，LVDC傳感器
測(cè)量力	1-50mg可調(diào)
探針選型	探針曲率半徑2μm，夾角60°
Z軸測(cè)量重復(fù)性	＜0.5% 在環(huán)境溫度20 ±2 °C下用50X物鏡測(cè)量4.7um標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階樣塊
平臺(tái)移動(dòng)范圍X/Y	電動(dòng)X/Y（100mm*100mm）（可手動(dòng)校平）
樣品R-θ載物臺(tái)	電動(dòng)，360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)
單次掃描長(zhǎng)度	55mm
樣品厚度	50mm
載物臺(tái)晶圓尺寸	150mm（6時(shí)），200mm（8時(shí)）
臺(tái)階高度重復(fù)性	＜1nm（測(cè)量1μm臺(tái)階高度，1δ）
傳感器量程	330μm
垂直分辨力	分辨力＜0.25 ?（量程為13um時(shí)）
掃描速度	2μm/s-10mm/s
儀器電源	100-240 VAC，50/60 Hz
使用環(huán)境	相對(duì)濕度：濕度（無(wú)凝結(jié)）30-40% RH 溫度：16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃) 地面振動(dòng)：6.35μm/s（1-100Hz）音頻噪音：≤80dB 空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動(dòng)）
尺寸和重量	長(zhǎng)×寬×高: 640626534(mm) 儀器總重量：<50kg