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行業(yè)產(chǎn)品

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上海洛豐精密檢測儀器有限公司


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白光干涉儀ZeGageplus 光學(xué)輪廓儀

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產(chǎn)品型號ZeGage plus

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時(shí)間:2025-05-31 11:37:32瀏覽次數(shù):9次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:267條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:馬經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

ZeGage Plus系列的3D光學(xué)表面輪廓儀可以提供強(qiáng)大的多功能的非接觸式光學(xué)表面形貌測量分析。所有的測量都無損、快速,并且不需要樣品制備。強(qiáng)大的分析軟件可以極其精準(zhǔn)的描繪和定量分析表面粗糙度、臺階高度、關(guān)鍵尺寸和其它形貌特征。

詳細(xì)介紹

系統(tǒng)參數(shù):

原理非接觸、三維白光掃描干涉儀

掃描裝置: 長范圍 Z 軸調(diào)節(jié)

物鏡: 1X - 50X 放大:標(biāo)準(zhǔn)工作距離2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x;長工作距離:1x, 2x, 5x, 10x,詳見物鏡參數(shù)表
視場: 跟所選物鏡有關(guān)
光源: 長壽命白光 LED,計(jì)算機(jī)控制光強(qiáng)
物鏡安裝:直接螺紋安裝(標(biāo)配);單物鏡楔形座安裝(選配);手動或電控 4 位物鏡塔臺(選配)
輔助聚焦: 軟件控制輔助聚焦
測量陣列: 1024×1024,512×512,256×256,1024×160
樣件觀察: Mx 軟件集成實(shí)時(shí)觀察
Z 軸: 100mm 行程,主機(jī)頭具有兩種可選安裝高度,以優(yōu)化工作距離
樣品臺控制: USB 控制器
安全性: 系統(tǒng)集成緊急制動功能
樣品臺: 手動,俯仰傾斜±4°,集成 T 型槽板利于固定附件(標(biāo)配) 手動型:XY 平移 50 x 100 mm(-01,-11);電動型:
XY 平移 100 x 100 mm(-02,-12)
計(jì)算機(jī): i5 級別 PC,23 寸顯示器 1080p
軟件: ZYGO Mx 軟件,Windows7(64 位)
尺寸(HWD): 系統(tǒng):156×127×76cm; 工作桌:74x127x76cm; ZeGage 主機(jī):82x53x53cm
重量: ZeGage Plus主機(jī):54Kg; 工作臺:37Kg
性能:
縱向掃描范圍:≤ 20 mm,(受限于物鏡工作距離)
表面形貌重復(fù)性:<0.15nm
光學(xué)分辨率(橫向):0.52um (50x 物鏡)
空間采樣: 0.17um(50x 物鏡)
掃描速度: ≤ 73 um/秒
臺階高度重復(fù)性:≤0.3%@1σ
臺階精度: ≤ 3%
被測樣品特性:
材料: 各種材料的表面:透明,不透明,鍍膜,非鍍膜,反射,弱反射
尺寸(HWD):87 x 100 x 100mm 標(biāo)準(zhǔn)主機(jī)頭位置;147 x 100 x 100mm 主機(jī)頭加高采用局部覆蓋放置可以測試更大的樣品
反射率:0.05%-99%
環(huán)境要求:
溫度: 15-30℃  <1.0°C/15 分鐘
濕度: 相對濕度 5%-95%,無凝結(jié)
隔振: 包含隔振,要求隔離 1-120Hz 振動
振動準(zhǔn)則: VC-C 或有更好的推薦

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