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場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡SIGMA 500

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上海洛豐精密檢測(cè)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

蔡司公司推出的Sigma 500場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡采用成熟的GEMINI光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，分辨率超過0.8nm，為您提供優(yōu)秀分辨率和分析性能科研平臺(tái)。Sigma500專注于的EDS幾何學(xué)設(shè)計(jì)使您可以獲取的分析性能。借助Sigma直觀便捷的四步工作流程可以快速成像、簡(jiǎn)化分析程序、提高工作效率。您會(huì)比以往更快、更多的獲取數(shù)據(jù)。多種探測(cè)器的選擇使Sigma500可以精準(zhǔn)的匹配您的應(yīng)用程序：您可以獲取微小粒子、表面、納米結(jié)構(gòu)、薄膜、涂層和多層的圖像信息。

詳細(xì)介紹

用于清晰成像的靈活探測(cè)：

◆利用探測(cè)術(shù)為您的需求定制 Sigma，表征所有樣品。

◆利用 in-lens 雙探測(cè)器獲取形貌和成份信息。

◆利用新一代的二次探測(cè)器，獲取高達(dá)50%的信號(hào)圖像。在可變壓力模式下利用 Sigma 創(chuàng)新的 C2D 和可變壓力探測(cè)器，在低真空環(huán)境下獲取高達(dá)85%對(duì)比度的銳利的圖像。

自動(dòng)化加速工作流程：

◆4步工作流程讓您控制 Sigma 的所有功能。在多用戶環(huán)境中，從快速成像和節(jié)省培訓(xùn)首先，先對(duì)樣品進(jìn)行導(dǎo)航，然后設(shè)置成像條件。

◆首先，先對(duì)樣品進(jìn)行導(dǎo)航，然后設(shè)置成像條件。

◆接下來對(duì)樣品感興趣的區(qū)域進(jìn)行優(yōu)化并自動(dòng)采集圖像。最后使用工作流程的步，將結(jié)果可視化。

高級(jí)分析型顯微鏡：

◆將掃描電子顯微鏡與基本分析相結(jié)合：Sigma 的背散射幾何探測(cè)器大大提升了分析性能，特別是對(duì)電子束敏感的樣品。

◆在一半的檢測(cè)束流和兩倍的速度條件下獲取分析數(shù)據(jù)。

◆8.5 mm 短的分析工作距離和35°夾角，獲取完整且無陰影的分析結(jié)果。

靈活的檢測(cè)器選項(xiàng)，獲取清晰圖像：

◆使用新穎的ETSE和Inlens探測(cè)器在高真空下獲取高分辨率表面形貌信息。

◆使用VPSE或C2D檢測(cè)器在可變壓力模式下獲得清晰圖像。

◆使用aSTEM檢測(cè)器生成高分辨率透射圖像。

◆使用HDBSD或YAG檢測(cè)器分析成分。

技術(shù)參數(shù)：

分辨率：	1.0nm@30kV STEM	1.0nm @15 kV	1.8nm @1kV
加速電壓	0.02—30KV
放大倍數(shù)	10—1000000x
探針電流	調(diào)整范圍：0.02-30 kV（無需減速模式實(shí)現(xiàn)）
X-射線分析工作距離	8.5mm 35度接收角
低真空壓力范圍	2-133Pa （Sigma 300VP可用）
工作室	365 mm（φ），275mm（h）
5軸優(yōu)中心自動(dòng)樣品臺(tái)	X=125mm Y=125mm Z=50mm T=-10°- 90°R=360°連續(xù)
系統(tǒng)控制	基于Windows 7 的SmartSEM操作系統(tǒng)
存儲(chǔ)分辨率	32,000 x 24,000 pixels