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硅片擴(kuò)散超聲波清洗機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

概述：該設(shè)備用于晶圓片擴(kuò)散、蒸發(fā)、CAV生產(chǎn)前的清洗處理

詳細(xì)介紹

硅片擴(kuò)散超聲波清洗機(jī)(圖1)

 

概述：

該設(shè)備用于晶圓片擴(kuò)散、蒸發(fā)、CAV生產(chǎn)前的清洗處理。該機(jī)共有六種清洗方式可供選擇，清洗程序?yàn)榧兯逑?、清洗、冷熱純水沖洗、酸洗（HF）、純水清洗。其工藝性能指標(biāo)及可靠性達(dá)到進(jìn)口同類設(shè)備水平，但價(jià)格、售后服務(wù)、備品備件的供給等是進(jìn)口設(shè)備的。

主要特點(diǎn)：

采用進(jìn)口PP板制作。

適用2-6寸硅片清洗。

超聲功率強(qiáng)勁，性能穩(wěn)定。

 


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