一, 產(chǎn)品命名規(guī)則:
SS-60系列產(chǎn)品是針對(duì)絕大部分工廠和較低級(jí)別要求的實(shí)驗(yàn)室配置的一款低配置掃描電鏡,系列產(chǎn)品包括如下配置:

型號(hào)命名規(guī)則如下:

二,簡(jiǎn)單說明:(Description)
(1)zui大放大倍率6萬倍(Magnification Max 60,000x)
(2)采用二次電子和背散射電子雙重探測(cè)器(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector)
(3)5KV~30KV加速電壓選擇,圖像分辨率高(Accelerating Voltage:5kV to 30Kv,High image resolution)
(4)通過選配EDS可進(jìn)行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis)
(5)冷卻臺(tái)的安裝可在無前處理情況下對(duì)水分取樣分析(Installation a cooling Stage, Can measure aqueous samples without pretreatment)
(6)高/低真空配置縮短前處理過程(High&Low Vacuum System)
(7)CCD攝像頭的安裝可對(duì)載物臺(tái)內(nèi)部觀察(The CCD camera is mounted to view the inside of the stage)
(8)Tilt(0~45)載物臺(tái)配置(可選擇)(Tilt Stage configuration( optional))
三、 技術(shù)參數(shù):(Product specifications)
分辨率(Resolution) | 15nm (30kV, SE Image) |
20nm (30kV, BSE Image) |
放大倍率(Magnification) | 30x~60,000x |
加速電壓(Accelerating Voltage) | 5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step) |
圖像檢測(cè) (Signal Detection)` | 二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image |
背散射電子圖像 (BSEI)-Backscattered Electron Image |
* Multi Detector (SEI+BSEI) |
觀察模式 Observation mode | Standard Mode |
Charge-up reduction mode |
電子槍系統(tǒng)(Electron Gun) |
燈絲類型(Filament type) | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲(Pre Centered tungsten filament Cartridge) |
偏壓系統(tǒng)(Bias voltage system) | 自動(dòng)偏壓方式(Automatic mode) |
電子槍校正 (Electron gun alignment) | 手動(dòng)方式(Manual mode) |
透鏡構(gòu)成(Lens system) |
聚光鏡(Focus Lens) | 2段式磁線圈透鏡 (2-stage Electromagnetic Condenser Lens) |
物鏡(Objective Lens) | 1段式磁線圈透鏡(1-stage Electromagnetic Objective Lens) |
探測(cè)器類型(Detector type) | SE Detector/ BSE Detector |
載物臺(tái)系統(tǒng)( Stage System) | Auto or Mauanl |
載物臺(tái)移動(dòng)(Stage Traverse) | 3軸操控3 axis System, X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360° |
Image shift | Image shift X, Y Image Shift (±150um) |
樣品尺寸 (Max Sample size) | 高度30mm時(shí)直徑70mm,70mm in diameter, 30mm in height |
圖像掃描 (Image Scanning system) | 快速描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
低速描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.) |
圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.) |
圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.) 3(Photo Mode 2): 5120x3840 (Scan time: 120sec.) |
自動(dòng)功能 (Automatic Function) | 自動(dòng)啟動(dòng)(Auto start),自動(dòng)聚焦(Auto focus),自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)(Auto Brightness/Contrast) |
圖像存儲(chǔ)格式(Image format) | BMP, JPEG, PNG,TIFF |
數(shù)據(jù)顯示(Data display) | 放大倍率(Magnification),探測(cè)器類型(Detector type),電壓(Accelerating Voltage),真空模式(Vacuum mode),Logo(Text), Date and time,Text marker,比例尺(scale bar) 等 |
真空系統(tǒng)(Vacuum system) | 全自動(dòng)型/高真空模式+低真空模式(Fully Automatic Multi mode) (旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵)Rotary Pump/100Liters/min (渦輪式分子泵) Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空時(shí)間(pump down time):2分鐘以內(nèi) (less than 2 minutes) |
操控系統(tǒng)(Control unit system) | 鼠標(biāo)和鍵盤(Mouse ,Keyboard) |
|
PC:臺(tái)式電腦(Desk Top) OS : Microsoft Window 7
CPU : Intel CoreTM i5 or High version Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version USB 2.0 |
軟件(Software function) | 圖像文件打開,編輯,存儲(chǔ)功能(Image file open, edit, Save function) 長(zhǎng)度,面積,角度等測(cè)量功能(Length, area, angle measuring) 設(shè)置數(shù)值初始化(parameter initialization),圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換(Image capture mode conversion),Archives, Setting(EDS)模 式等 |
體積( Volume) | 設(shè)備主機(jī)(Main Unit)-410(W)×660(D)× 600(H)mm……1set 外置真空泵(External vacuum pump)-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set 根據(jù)客戶實(shí)際情況使用Anti vabration Table |
重量 (Weight) | 105kg |
設(shè)備環(huán)境 (Equipment environment) | 溫度(Temperature):15℃~30℃ 濕度(Humidity):70% or less 電源(Power source): Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz |
四、樣品檢測(cè)結(jié)果
我們使用實(shí)驗(yàn)室廢棄的一顆不良品螺絲作為樣品進(jìn)行了實(shí)際測(cè)試,圖片如下:

螺絲,放大47倍, 30 kV,SE探測(cè)器,高真空模式

螺帽部分,放大100倍,10 kV,SE探測(cè)器,高真空模式

螺絲,放大47倍, 30 kV,SE探測(cè)器,高真空模式

螺帽部分,放大100倍,10 kV,SE探測(cè)器,高真空模式

螺牙部分,放大100倍,10 kV,SE探測(cè)器,高真空模式

螺紋牙底部分,放大500倍,10 kV,SE探測(cè)器,高真空模式

五、附件包(Accessories package):
預(yù)對(duì)中鎢燈絲 Pre Centered tungsten filament | 5 pcs/box |
載物臺(tái)(Sample Stage) | 15mm dia. (10 pcs) |
25mm dia. (10 pcs) |
15mm 45° Tilt (5 pcs) |
15mm 90° Tilt (5pcs) |
真空潤(rùn)滑油(Vacuum pump oil) | 1ea |
高度基準(zhǔn)模塊(Height standard master) | 1ea |
6角扳手(allen wrench) | 1set |
掃描電鏡軟件修復(fù)用CD (SEM Software CD) | 1ea |
銀膠(Silver Paste) 30g | 1ea |
碳導(dǎo)電膠帶(Carbon conductive tape) | 1roll |
剪刀(scissors) | 1ea |
洗耳球(aurilave) | 1ea |
鑷子(tweezers) | 1ea |
工具箱(Tools Box) | 1ea |
