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TRsacn非接觸式微觀形貌測(cè)量?jī)x

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TRsacn非接觸式微觀形貌測(cè)量?jī)x

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Dantsin-TRsacn非接觸式微觀形貌測(cè)量?jī)x

Trimos TRscan非接觸式微觀形貌測(cè)量?jī)x，全自動(dòng)共焦三維測(cè)量。專用于刀具制造工業(yè)，根據(jù)多點(diǎn)譜線共焦，一次入射200束光到工件表面，在每束光路上自動(dòng)聚焦，快速獲得刀具表面三維形貌，采用此次多點(diǎn)譜線共焦傳感器和圖像處理系統(tǒng)，可以對(duì)各種復(fù)雜的刀刃及其模具進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)量，具有完善的分析功能模塊，對(duì)其表面形貌進(jìn)行輪廓、面積、體積、粗糙度、截面等測(cè)量。

主要特點(diǎn)：

強(qiáng)大的多點(diǎn)共焦技術(shù)，最準(zhǔn)確的測(cè)量出表面形貌數(shù)據(jù)（角度、半徑、輪廓、粗糙度）
通過(guò)光學(xué)方式測(cè)量Ra、Rq、Rz等粗糙度參數(shù)
測(cè)量速度快，可整合成一個(gè)高效的在線測(cè)量系統(tǒng)
適用于陡峭的斜面，爬坡角度高達(dá)85度
垂直分辨率高達(dá)30nm
TRSCAN是可同時(shí)獲得表面形貌和真實(shí)顏色信息的3D測(cè)量設(shè)備，測(cè)量更加精確靈活
通過(guò)腳本自動(dòng)測(cè)量，更適用于批量測(cè)量，并生成圖形或數(shù)字報(bào)告
粗糙度和輪廓測(cè)量符合EN/ISO4287標(biāo)準(zhǔn)
可用于選定區(qū)域的面積及體積計(jì)算
可選配轉(zhuǎn)臺(tái)，實(shí)現(xiàn)三維掃面
可用于復(fù)雜幾何外形的形狀分析，可測(cè)量角度、半徑等表面特征

技術(shù)參數(shù)：

工作臺(tái)移動(dòng)范圍X	100mm
工作臺(tái)移動(dòng)范圍Y	固定式
工作臺(tái)移動(dòng)范圍Z	240mm
XYZ軸最小位移量	0.1μm
XYZ軸定位精度	1μm
XY軸導(dǎo)軌直線度	1.5μm
工件重量	20kg
測(cè)量原理	非接觸式多點(diǎn)譜線共焦傳感器
光源	白色LED共軸光，高強(qiáng)光，數(shù)字可控
色譜共焦傳感器	CLS0.2	CLS1	CLS4
線寬	0.96mm	1.92mm	4.8mm
工作距離	5.3mm	18.2mm	39mm
光斑間隙	5μm	10μm	25μm
光斑大小	2μm	4μm	10μm
爬坡坡度	±44deg	±33deg	±20deg
測(cè)量范圍	200μm	950μm	4mm
軸向分辨率	30nm	120nm	500nm
精度	90nm	360nm	1.5μm
厚度最小分辨率	15μm	70μm	300μm
測(cè)量厚度	300μm	1.5mm	6mm

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