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行業(yè)產(chǎn)品

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上海爾迪儀器科技有限公司


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等離子清洗機 YSP63FA

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品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時間：2023-09-02 14:07:05瀏覽次數(shù)：240次

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所在地區(qū)：

聯(lián)系人：張經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

技術(shù)應用鏈接:●操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒

詳細介紹

技術(shù)應用鏈接:

● 操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
● 軟性基板也可以進行傳送操作。
● 傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)。
● 可通過網(wǎng)絡進行遠程操作（選購品）。

未找到相應參數(shù)組，請于后臺屬性模板中添加

型號

YSP63FA

模式

RIE（DP模式選購）

高頻輸功率

600W

反應臺尺寸

W385×D362mm

內(nèi)腔尺寸

W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸）

反應氣體

2進氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）

反應氣體流量控制

質(zhì)量流量控制器

真空泵

旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min）

氣體導入口

反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

外形尺寸

W1860×D1100×H1800mm


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