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RTP-6經(jīng)濟型快速退火爐

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號RTP-6

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

紡織服裝機械網(wǎng)采購部電話:0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間:2024-10-23 20:48:14瀏覽次數(shù):114次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:40條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:Vicky

產(chǎn)品簡介

RTP-6經(jīng)濟型快速退火爐

詳細介紹

RTP-6經(jīng)濟型快速退火爐

RTP-6升溫速率可達80℃/s。

RTP-6采用拋物線形的黃金反射面,可均勻熱處理6英寸的圓晶。該系統(tǒng)可進行快速的熱處理,適合熱處理工藝的研究與開發(fā)??捎糜诎雽?dǎo)體工藝中硅化物的形成以及半導(dǎo)體化合物的過程退火。

應(yīng)用:

1. 離子注入后的活化退火

2. 沉積氧化膜的退火

3. 歐姆電極合金化

4. PZT,SBT和其它鐵電薄膜的結(jié)晶退火

5. 硅化物及自對準硅化物的生成

6. 發(fā)光元件,半導(dǎo)體激光基板的熱處理

7. 超淺結(jié)的生成

8. 鐵電電容器沉積

9. 柵氧化膜的生成

特點:

  • 快速熱處理
  • 腔體采用水冷,可進行快速降溫
  • 真空置換氣氛后,可采用流動氣氛進行熱處理
  • 溫度程序設(shè)置和外部信號輸入可以通過腦輕松控制
  • 加熱過程的溫度數(shù)據(jù)也可以顯示在電腦上
  • 石英保護板(可選)可以安裝在腔室內(nèi)以防止污染
  • 配備了各種安全措施
  • 九個獨立的加熱區(qū)可實現(xiàn)不同尺寸樣品均勻的溫度控制

組成:

1. 紅外金面反射爐

2. 加熱腔

3. 可編程溫控器

4. 9個獨立的加熱區(qū)

5. 跨度變換單元

6. 氣體管路系統(tǒng)

7. 熱氣排出系統(tǒng)

8. 爐體框架,開關(guān)板

9. 高溫計(可選)

10. 水冷機(可選)

11. 真空泵(可選)

參數(shù):


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