規(guī)格 參數 | XVM-2515CNC | XVM-3020CNC | XVM-4030CNC | XVM-5040CNC | 工 作 臺 | X/Y軸行程 | 250*150 | 300*200 | 400*300 | 500*400 | Z軸行程 | 有效空間245mm,調焦行程200mm,工作距離95mm | 金屬臺面尺寸 | 450*320 | 450*350 | 550*450 | 700*600 | 玻璃臺面尺寸 | 300*200 | 330*230 | 430*330 | 530*430 | 傳動型式 | 傳動型:進口X/Y/Z軸精密線性導軌和進口研磨級滾珠螺桿 | 測量伺服驅動系統 | 光學尺分辨率:X/Y/Z軸0.0005MM(0.5UM) | 測量精度:≤3UM+L/200 重復精度:≤3UM+L/200 | X/Y/Z三軸高性能伺服電機,雙重閉環(huán)控制系統 | 影像系統 | 攝像機:日本彩色1/3″CCD 攝像機放大倍率30-230X | 鏡頭:NAV高清連續(xù)變倍鏡頭//連續(xù)放大倍率0.7-4.5X 可選配:0.5X物鏡時,總放大倍率15-115X 可選配:2X物鏡時,總放大倍率60-460X | 光源系統 | 程控八區(qū)光源,表面光源與透射光源均為LED冷光源、壽命長、軟件自動調節(jié)! | 儀器外形尺寸(L*W*H) | 650*850*1650 | 700*850*1650 | 800*900*1650 | 900*1050*1650 | 儀器重量(KG) | 250 | 330 | 500 | 720 | |