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Aerotech 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)及機(jī)械高精密轉(zhuǎn)臺(tái)

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Aerotech 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)及機(jī)械高精密轉(zhuǎn)臺(tái)

Aerotech ARMS超精密模擬仿真轉(zhuǎn)臺(tái),機(jī)械軸承可以帶導(dǎo)電滑環(huán),并且做可以作為陀螺標(biāo)定使用

詳細(xì)介紹

 Aerotech 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)及機(jī)械高精密轉(zhuǎn)臺(tái)

Aerotech ARMS超精密模擬仿真轉(zhuǎn)臺(tái),機(jī)械軸承可以帶導(dǎo)電滑環(huán),并且做可以作為陀螺標(biāo)定使用

1.為超高精度運(yùn)動(dòng)而設(shè)計(jì)。

2.無刷力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng),可選更高速度和力矩電機(jī)。

3.突出的速度穩(wěn)定性。

4.的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無抖動(dòng)

5.有效載荷達(dá)230 kg

6.預(yù)裝有集流環(huán)

臺(tái)面直徑:146~260mm

反饋分辨率:0.02~4 arc sec

雙向重復(fù)定位精度 0.5 arc sec

定位精度         2.5 arc sec

速度波動(dòng)率       0.0001%

ARMS130-M-10-NC-LT05AS-SINGLE-CMS

ARMS130-M-10-NC-LT06AS-SINGLE-CMS

ARMS130-M-10-NC-LT26AS-SINGLE-CMS

ARMS130-M-10-NC-LT27AS-SINGLE-CMS

ARMS130-M-10-NC-LT28AS-SINGLE-CMS

 

Aerotech ALAR直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺(tái),精密轉(zhuǎn)臺(tái),大中空,高精度

1.5種不同的孔徑尺寸:100mm,150mm,200mm,250mm,325mm

2.持續(xù)或有限的行程

3.300-1000lb的高軸向負(fù)載能力

4.寬大的軸承能提供較高的有效負(fù)載和瞬間負(fù)載能力

5.的精度和重復(fù)定位精度

6.抖動(dòng)和跳動(dòng)小

7.無接頭電機(jī)提供平滑運(yùn)動(dòng)

8.無回差效應(yīng)

9.精度不隨齒輪的磨損而改變

10.每分鐘45-300轉(zhuǎn)的持續(xù)轉(zhuǎn)速

11.有效負(fù)載必須在旋轉(zhuǎn)中心的應(yīng)用的完美選擇,AZ滾動(dòng)萬向架應(yīng)用的重要選擇

12.10-6torr真空環(huán)境選項(xiàng)可選

孔徑325mm

精度±3.9arcsec

負(fù)載6463N

 

ALAR型號(hào):

ALAR-34E-A010

ALAR-34E-A011

ALAR-34E-A012

ALAR-34E-A013

ALAR-34E-A014

ALAR-34E-A015

ALAR-34E-A016

ALAR-34E-A017

 

Aerotech ABRS超精密轉(zhuǎn)臺(tái),氣浮轉(zhuǎn)臺(tái),扁平造型

ABRS氣浮軸承精密運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)擁有一個(gè)低矮的外形輪廓,并且能夠提供出眾的角度定位精度,的速度穩(wěn)定性以及極小的運(yùn)動(dòng)誤差。ABRS精密轉(zhuǎn)臺(tái)的設(shè)計(jì)應(yīng)用于硅片檢測(cè),高精度測(cè)量,激光衍射系統(tǒng),光學(xué)檢測(cè)和制造以及納米制造技術(shù)。

特點(diǎn):

1.無刷無槽力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)

2.的速度穩(wěn)定性(無齒槽效應(yīng))

3.佳的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無抖動(dòng)

4.直連式高精度圓光柵反饋

5.扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

6.氣浮軸承,無機(jī)械接觸

臺(tái)面直徑:128~278mm

反饋分辨率:0.036~0.18 arc sec

雙向重復(fù)定位精度:<1arc sec

定位精度: 2 arc sec

異步軸跳: 20nm

異步徑跳: 20nm

 

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ABRS130-M-10-NC-LT89AS-SINGLE-CMS

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ABRS130-M-10-NC-LT93AS-SINGLE-CMS

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Aerotech APR系列精密轉(zhuǎn)臺(tái)

APR系列直接驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)提供精確的角度定位和速度控制。應(yīng)用范圍包括高速激光加工和硅片精密檢測(cè)。

特點(diǎn):

1.無刷力矩電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)

2.無齒槽設(shè)計(jì)提供的速度穩(wěn)定性

3.佳的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無抖動(dòng)

4.直連式高精度圓光柵反饋

5.高精度機(jī)械軸承支撐

6.載荷可達(dá)150kg

臺(tái)面直徑:57~240mm

反饋分辨率:0.036~13 arc sec

雙向重復(fù)定位精度: 1arc sec

定位精度: 2 arc sec

軸跳: 0.5um

徑跳: 1um

 

Aerotech ABRT超精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)

1專為硅片檢測(cè),X射線衍射系統(tǒng),光學(xué)檢測(cè)及制造和納米技術(shù)設(shè)備制造應(yīng)用設(shè)計(jì)

2無刷無槽伺服電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)

3突出的速度穩(wěn)定性,波動(dòng)率低于萬分之一(電機(jī)無接頭效應(yīng))

4的運(yùn)動(dòng)性能,誤差小,無抖動(dòng)

5直聯(lián)高精度旋轉(zhuǎn)編碼器

6扁平結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

7無機(jī)械接觸

臺(tái)面直徑100-200mm

分辨率0.027-0.055arcsec

雙向重復(fù)定位精度<1arcsec

定位精度 <2 arc sec

異步軸跳 <20nm

異步徑跳 <20nm

 

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ABRT-E-M-10-NC-LT213AS-SINGLE-CMS

ABRT-E-M-10-NC-LT214AS-SINGLE-CMS

ABRT-E-M-10-NC-LT215AS-SINGLE-CMS

ABRT-E-M-10-NC-LT216AS-SINGLE-CMS

ABRT-E-M-10-NC-LT250AS-SINGLE-CMS

高控科技  張巨鵬   1-8-5-0-6-2-3-6-5-8-8、1-8-5-1-8-5-5-6-5-8-8

 Aerotech 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)及機(jī)械高精密轉(zhuǎn)臺(tái)


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