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聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 紡織服裝機(jī)械網(wǎng)Aerotech qnp2 雙軸三軸壓電納米定位平臺(tái)詳細(xì)介紹
Aerotech qnp2 雙軸壓電納米定位平臺(tái)
關(guān)鍵詞：納米定位平臺(tái)/壓電平臺(tái)/壓電雙軸定位平臺(tái)
Aerotech qnp2 雙軸三軸壓電納米定位平臺(tái)詳細(xì)介紹
Aerotech qnp2 雙軸壓電納米定位平臺(tái)
關(guān)鍵詞：納米定位平臺(tái)/壓電平臺(tái)/壓電雙軸定位平臺(tái)
QNP2系列XY并聯(lián)運(yùn)動(dòng)壓電定位平臺(tái)在緊湊，小巧的封裝中結(jié)合了亞納米級(jí)分辨率，高動(dòng)態(tài)性能和出色的幾何性能。QNP2系列壓電平臺(tái)具有大的，清晰的孔徑，閉環(huán)行程可達(dá)200 ?m x 200 ?m（開環(huán)行程為240 ?m x 240 ?m）。該設(shè)計(jì)非常適合光學(xué)顯微鏡，掃描探針顯微鏡，X射線透射顯微鏡或需要兩側(cè)零件訪問的其他檢查或制造應(yīng)用。
XY雙軸壓電陶瓷平臺(tái)：
· 移至240 ?m x 240 ?m
· 大方形透明光圈，70 mm x 70 mm
· 通過(guò)并聯(lián)運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)出色的多軸精度
· 高剛度和動(dòng)態(tài)特性，可實(shí)現(xiàn)高工藝產(chǎn)量
· 高精度，無(wú)摩擦的撓性導(dǎo)向
· 正在申請(qǐng)的設(shè)計(jì)提供了的幾何性能
· 設(shè)備壽命長(zhǎng)
· 具有直接計(jì)量電容傳感器的出色定位分辨率和線性度
· 開環(huán)和真空版本
Mechanical Specifications
Model | QNP2-100XYA-030 | QNP2-100XYA-100 | QNP2-150XYA-200 | |
Closed-Loop Travel (X x Y) | 30 μm x 30 μm | 100 ?m x 100 ?m | 200 ?m x 200 ?m | |
Open-Loop Travel, -30 to +150 V(1) | 36 μm x 36 μm | 120 ?m x 120 ?m | 240 ?m x 240 ?m | |
Resolution(2) | Closed-Loop | 0.1 nm | 0.30 nm | 0.40 nm |
Open-Loop | 0.03 nm | 0.15 nm | 0.20 nm | |
Linearity(3,4) | 0.02% | 0.01% | 0.01% | |
Bidirectional Repeatability(5) | 4 nm | 1 nm | 1 nm | |
Straightness | 25 nm | 10 nm | 10 nm | |
2D Flatness (Over Full XY Travel) | 15 nm | 5 nm | 15 nm | |
Pitch | 5 μrad (1 arc sec) | 1.5 ?rad (0.3 arc sec) | 1.5 ?rad (0.3 arc sec) | |
Yaw | 5 μrad (1 arc sec) | 12 ?rad (2.5 arc sec) | 20 urad (4 arc sec) | |
Stiffness (in direction of motion)(6) | 33 N/μm | 2.1 N/?m | 1.7 N/?m | |
Unloaded Resonant Frequency(6) | 2400 Hz | 565 Hz | 375 Hz | |
Resonant Frequency (200 gram load)(6) | 1725 Hz | 380 Hz | 290 Hz | |
Max Payload(7) | 1 kg | 1 kg | 3 kg | |
Maximum Acceleration (Unloaded)(8) | 400 m/s2 | 170 m/s2 | 40 m/s2 | |
Moving Mass (Unloaded) | 0.14 kg | 0.14 kg | 0.5 kg | |
Stage Mass | 0.36 kg | 0.48 kg | 1.2 kg | |
Material | Anodized aluminum(9) | Anodized aluminum(9) | Anodized aluminum(9) | |
MTBF (Mean Time Between Failure) | 30,000 hours | 30,000 hours | 30,000 hours | |
XYZ雙軸壓電陶瓷平臺(tái)：
QNP3系列XYZ并聯(lián)運(yùn)動(dòng)壓電定位平臺(tái)在緊湊的小尺寸封裝中結(jié)合了亞納米分辨率，高動(dòng)態(tài)特性和出色的幾何性能。QNP3系列壓電平臺(tái)具有大的，清晰的孔徑，閉環(huán)行程可達(dá)200 ?m x 200 ?m x 20 ?m（開環(huán)行程為240 ?m x 240 ?m x 25 ?m）。該設(shè)計(jì)非常適合光學(xué)和掃描探針顯微鏡或其他檢查或制造應(yīng)用，這些應(yīng)用需要通過(guò)三個(gè)DoF操作來(lái)進(jìn)行兩側(cè)零件的訪問。
· 移至240μmx 240μmx 25μm
· 大方形透明光圈，可達(dá)66 mm x 66 mm
· 通過(guò)平行運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)出色的多軸精度
· 高剛度和動(dòng)態(tài)特性，可實(shí)現(xiàn)高工藝產(chǎn)量
· 高精度，無(wú)摩擦的撓性導(dǎo)向
· 正在申請(qǐng)的設(shè)計(jì)提供了的幾何性能
· 設(shè)備壽命長(zhǎng)
· 具有直接計(jì)量電容傳感器的出色定位分辨率和線性度
· 開環(huán)和真空版本
· 
Model | QNP3-100XYAZ-030-10 | QNP3-100XYAZ-100-10 | QNP3-150XYAZ-200-20 | |
Closed-Loop Travel (X x Y x Z) | 30 μm x 30 μm x 10 μm | 100 ?m x 100 ?m x 10 ?m | 200 um x 200 um x 20 um | |
Open-Loop Travel, -30 to +150 V(1) | 36 μm x 36 μm x 12 μm | 120 ?m x 120 ?m x 12 ?m | 240 um x 240 um x 25 um | |
Resolution(2) | Closed-Loop | 0.1 nm (XY); 0.15 nm (Z) | 0.30 nm (XY); 0.15 nm (Z) | 0.4 nm (XY), 0.15 nm (Z) |
Open-Loop | 0.03 nm (XY); 0.05 nm (Z) | 0.15 nm (XY); 0.05 nm (Z) | 0.2 nm (XY), 0.1 nm (Z) | |
Linearity(3,4) | 0.02% (XY); 0.04% (Z) | 0.01% (XY); 0.02% (Z) | 0.01% (XY); 0.02% (Z) | |
Bidirectional Repeatability(5) | 4 nm (XY); 3 nm (Z) | 2 nm (XY); 1 nm (Z) | 2 nm (XY); 2 nm (Z) | |
Straightness | 25 nm (XY); 50 nm (Z) | <10 nm (XY); <20 nm (Z) | 10 nm (XY); 40 nm (Z) | |
2D Flatness (Over Full XY Travel) | 10 nm | <5 nm | <10 nm | |
Pitch | 10 μrad (2.1 arc sec) (XY) 6 μrad (1.2 arc sec) (Z) | 2 ?rad (0.4 arc sec) (XY); 6 ?rad (1.2 arc sec) (Z) | 2 urad (0.4 arcsec) (XY); 6 urad (1.2 arcsec) (Z) | |
Yaw | 5 μrad (1 arc sec) (XY) 5 μrad (1 arc sec) (Z) | 10 ?rad (2.1 arc sec) (XY); 5 ?rad (1 arc sec) (Z) | 20 urad (4 arcsec) (XY); 6 urad (1.2 arcsec) (Z) | |
Stiffness (in direction of motion)(6) | 10 N/μm (XY); 25 N/μm (Z) | 1.9 N/?m (XY); 13 N/?m (Z) | 1.3 N/?m (XY); 8.7 N/um (Z) | |
Unloaded Resonant Frequency(6) | 1850 Hz (XY); 2200 Hz (Z) | 490 Hz (XY); 1425 Hz (Z) | 330 Hz (XY); 910 Hz (Z) | |
Resonant Frequency (200 gram load)(6) | 950 Hz (XY); 1390 Hz (Z) | 350 Hz (XY); 910 Hz (Z) | 260 Hz (XY); 670 Hz (Z) | |
Max Payload(7) | 1 kg | 1 kg | 3 kg | |
Max Acceleration (Unloaded)(8) | 400 m/s2 (XY); 2000 m/s2 (Z) | 115 m/s2 (XY); 2000 m/s2 (Z) | 35 m/s2 (XY); 1000 m/s2 | |
Moving Mass (Unloaded) | 0.24 kg (XY); 0.05 kg (Z) | 0.21 kg (XY); 0.05 kg (Z) | 0.58 kg (XY); 0.10 kg | |
Stage Mass | 0.53 kg | 0.56 kg | 1.3 kg | |
Material | Anodized aluminum(9) | Anodized aluminum(9) | Anodized aluminum(9) | |
MTBF (Mean Time Between Failure) | 30,000 Hours | 30,000 Hours | 30,000 Hours | |
精密并聯(lián)運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)
QNP2壓電位移臺(tái)采用平行運(yùn)動(dòng)的彎曲和計(jì)量設(shè)計(jì)，可確保水平的多軸精度。借助經(jīng)過(guò)FEA優(yōu)化的精密撓曲，以確保高剛度和長(zhǎng)使用壽命，QNP2位移臺(tái)具有的剛度和共振頻率，從而實(shí)現(xiàn)了高工藝通量和快速的閉環(huán)響應(yīng)。
使用正在申請(qǐng)的驅(qū)動(dòng)器設(shè)計(jì)，可將偏航誤差小化，同時(shí)仍保持符合Abbe標(biāo)準(zhǔn)的計(jì)量系統(tǒng)。這種設(shè)計(jì)可在整個(gè)XY行程空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)的定位性能。
亞納米性能
所有QNP2壓電級(jí)均可提供閉環(huán)反饋（-C）或開環(huán)（無(wú)反饋）。*的電容傳感器并行測(cè)量設(shè)計(jì)可測(cè)量定位支架的輸出，直接實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率，低于0.01％的線性誤差和一位數(shù)納米可重復(fù)性。
超精密控制
與Aerotech的Q系列控制器和驅(qū)動(dòng)器配合使用時(shí)，QNP2位移臺(tái)具有亞納米級(jí)的定位分辨率，在位穩(wěn)定性（抖動(dòng)）和高定位帶寬。諸如Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer軟件包之類的軟件選件提供了許多*而易于使用的工具，例如Learning Control，Harmonic Cancellation和Command Shaping，從而改善了跟蹤誤差并縮短了分步和穩(wěn)定時(shí)間。還提供OEM驅(qū)動(dòng)器選件。Aerotech的控制器架構(gòu)可輕松實(shí)現(xiàn)壓電平臺(tái)，伺服系統(tǒng)，步進(jìn)器和振鏡之間的高速，嚴(yán)格控制的協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)。
設(shè)計(jì)方案
可選的安裝板可直接安裝到英制或公制面包板光學(xué)平臺(tái)上。固態(tài)桌面選項(xiàng)也是可用的。QNP2壓電平臺(tái)可根據(jù)要求提供定制材料和真空制備版本。
高控科技 張巨鵬 1-8-5-0-6-2-3-6-5-8-8、1-8-5-1-8-5-5-6-5-8-8
Aerotech qnp2 雙軸三軸壓電納米定位平臺(tái)
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