薄膜厚度測量儀ST5000

儀器簡介：

·標準模式
·工業(yè)規(guī)格
·自動機械X-Y活動
·自動調(diào)焦
·防震臺

技術(shù)參數(shù)：

類型 ：自動的
測量方法： 非接觸
測量原理 ：反射計
活動范圍： ~300mm x 300mm
測量范圍： 100?~ 35?(Depends on Film Type)
光斑尺寸： 40?/20?,4?(option)
測量速度 ：1~2 sec./site(fitting time)
應(yīng)用領(lǐng)域 ：半導(dǎo)體: Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS + Si, Ge, SiGe...
電解質(zhì): SiO2, TiO2, TaO5, ITO, ZrO2, Si3N4, Photoresist, ARC,...
平板行業(yè)：(包括 LCD, PDP, OLED, ): a-Si, n+-a-Si, Gate-SiNx MgO, Alq, ITO, PR, CuPc, NPB, PVK, PAF, PEDT-PSS, Oxide, Polyimide...
光學(xué)涂層：: 減反射膜, Color Filters...
太陽能電池 Doping a-Si(i-type, n-type, p-type), TCO(ZnO, SnO, ITO..)
聚合物: PVA, PET, PP, Dye, Npp, MNA, TAC, PR...
Recordable materials: Photosensitive drum, Video head, Photo masks, Optical disk
可選： Transmittance Module
Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST)
接物鏡旋轉(zhuǎn)器： Quintuple Revolving Nosepiecs
焦點 ：Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附帶照明 ：12v 100W Halogen Lamp

主要特點：

測量迅速，操作簡單

非接觸式，非破壞方式

優(yōu)良的重復(fù)性和再現(xiàn)性

2D/3D 映射和造型

自動機械活動控制

電荷耦合器件照相機

自動調(diào)焦

防震臺

SY5520-3LZE-C4 ET201F SY5420-6LZE-C8 SY5420-6LZE-C6 ET3 SY5420-6LZE-C4 SY5420-5LZE-C8 ET2 SY5420-5LZE-C6 SY5420-5LZE-C4 SY5420-3LZE-C8 SY5420-3LZE-C6 SY5420-3LZE-C4 ET1 SY5320-6LZE-C8 SY5320-6LZE-C6 SY5320-6LZE-C4 SY5320-5LZE-C8 SY5320-5LZE-C6 SY5320-5LZE-C4 SY5320-4LZE-C8 SY5320-4LZE-C6 SY5320-4LZE-C4 SY5320-3LZE-C8 SY5320-3LZE-C6 SY5320-3LZE-C4 SY5220-6LZE-C6 SY5220--6LZE-C4 SY5220-5LZE-C8 SY5220-5LZE-C6 SY5220-5LZE-C4 SY5220-6LZE-C8 SY5220-4LZE-C6 SY5220-4LZE-C4 SY5220-3LZE-C8 SY5220-3LZE-C6 SY5220-3LZE-C4